全自动高真空镀膜系统
申购单主题: | 全自动高真空镀膜系统 | 申购单位: | 电子(略)(微电子学院) | 经费科目: | 国家重点实验室专项经费 | 是否含税: | 是 |
使用币种: | 人民币 | 审批时间: | 2019-11-20 | 申购备注: | 纳米楼一楼微纳加工平台真空溅射仪维修 |
设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 是否标配 | 规格配置 | 数量 | 售后服务 | 附件 |
全自动高真空镀膜系统 | 更换机械泵,真空规检修 | Q150TES | 是 | Quorum Technologies Ltd | 1 | 无附件 |
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