| 技术规格及参数 | 主机：
1） 半导体特性参数分析仪主机，最多可以支持SMU单元数量9个。
2） 液晶触摸屏辨率 1920x1080 ，USB3.0接口，键盘，鼠标
3） SMU通道A/D转换器的分辨率 ≥ 22位
I-V （4个SMU模块）：
4） 2个中功率测试模块，最大电压不小于210v，最大电流100mA，最大功率2W；
5） 2个高功率测试模块，最大电压不小于210v，最大电流1A，最大功率20W.
6） 输入泄漏电流 <30pA, 最大负载电容≤10nF;
7） 电压测量分辨率0.2μV，电压测量精度100μV，电压源设定分辨率5μV。
C-V(CVU模块)：
7） C-V测试带宽>=10MHz；
8） C-V测试偏置电压范围：±30V（差分模式下：±60V）；
9） 支持激励电平电容压型（DLCP）测试，提供太阳能电池上的缺陷密度信息;
10）支持C-V,C-f,C-t，Cp-G，Cp-D，Cs-Rs，Cs-D，R-jX，Z-θ等参数测试;
11）支持掺杂浓度，氧化层厚度和载流子寿命测试
PA:(前置放大器)：
12） 直流电流测量最高分辨率为:0.1fA；电流测量精度：10fa;
操作界面及软件：
13）半导体特性分析系统标配元器件库, ，Windows GUI图形化操作界面;
14）数据存储：可以将测试数据直接实时地以.xls（电子表格），.bmp （位图），.jpg（图形），.tif等格式储存;
15） 针对7种纳米结构的16个测试库：碳纳米管、生物芯 片/器件、碳纳米管FET、纳米线、分子线、分子晶 体管、多管脚纳米格;
二维材料转移模块:
16）a.四轴可调衬底载物平台：支持沿 XY 方向平移，行程13mm，测微丝杆控制系统分辨率0.002mm；绕z轴旋转最大±90°，测微器精细调节，行程5°，调节精度 1°左右；绕x轴和y轴倾斜台，倾斜角度±3°；b.衬底载物平台加热系统：加热温度≤150 ℃，使用 PID 温度控制器，温度控制稳定性小于±1℃；c.四轴可调载玻片移动平台：XYZ三轴可调，行程25mm,粗调旋转范围360°，细调旋转范围±5°，定位精度 1~ 2°;d.支持真空自动吸附样品。
17）所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件； |
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