西安电子科技大学2022年10月政府采购意向公开
****大学2022年10月政府采购意向公开
为便****政府采购信息, 根据《****政府采购意向公开工作的通知》 (财库〔2020〕10号)等有关规定,****大学2022年10月政府采购意向公开如下:
序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
1 | 磁控溅射沉积系统 | **** | A****0607 真空检测仪器 | 1. 主泵采用抽速≥780 L/S的分子泵,系统的极限压强≤5*10-7Torr;2. 主真空室配有全量程真空计,测量范围为大气至1*10-9Torr,自动量程切换。3. 4套溅射靶枪,其中3套3英寸标准磁场靶枪,1套3英寸强磁场靶枪。靶枪最低工作压强≤0.7mTorr。 4.包含功率最大可达到300W的射频电源,包含功率最大可达到600W的射频电源,包含功率最大可达到1000W的直流电源,包含功率最大可达到2KW的脉冲直流电源。5. 6英寸硅片镀制150nm以上的Ti膜,均匀性小于+/-5%。 | 255 | 2022年10月 | 需求参数仅为参考,具体以实际招标文件为准 |
2 | 高温纳米力学测试系统 | ****09075 | A****0402 物理特性分析仪器及校准仪器 | 1. 纳米压痕测试:最大载荷≥10N,最大压入位移≥80μm; 2. 快速压痕测试:速度≥每秒钟2个压痕测试点; 3. 纳米划痕测试:横向载荷分辨率≤50nN,横向位移分辨率≤0.02nm; 4. 原位扫描成像:最小成像力≤100nN,扫描分辨率≥256×256像素点; 5. 温度台:最高温度≥800℃,加热速率≥20℃/min; | 280 | 2022年10月 | 需求参数仅为参考,具体以实际招标文件为准 |
3 | 透射电镜原位纳米力电测试系统 | ****09076 | A****0404 光学式分析仪器 | 1.透射电镜原位纳米力电测试系统主要功能要求: (1)能提供定量载荷和位移数据,能同步观察材料变形过程; (2)能实现透射电镜下低倍到高倍、高分辨微结构动态观察,具备载荷控制、位移控制加载模式,可实现拉伸压缩等力学测试功能; (3)软件能实现连续载荷、位移实时数据曲线,集成透射电镜实时视频捕捉,图像和视频高分辨率采集。 2.原位纳米压痕测试功能: (1)最大纵向载荷应大于1-2mN,载荷分辨率小于5-10nN; (2)最大压痕深度应大于1-2μm; 3.与力学测试同步的电学测试模块: (1)电压范围大于+/-10-20V; (2)电流范围可满足pA到mA级别的电学信号测量; (3)可实现软件同时控制测量电学与力学信号; 4.力学测试样品自动移动控制参数: (1)通过内置压电陶瓷控制样品的定位; (2)XY方向可移动范围:≥10-20μm;灵敏度:≤2-5nm; (3)Z方向可移动范围:≥1μm;灵敏度:≤0.1nm; | 230 | 2022年10月 | 需求参数仅为参考,具体以实际招标文件为准 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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2022年09月06日
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