武汉全自动光刻刻蚀后检查显微镜采购信息公示
一、项目概况 (一)项目编号: ****0138 (二)项目名称:全自动光刻刻蚀后检查显微镜 (三) 项目内容及需求: 1、 stage repeatability:≤ 20um 2、镜头组: 5x,10x,20x,50x,100x 3、 Relosution:0.4um 4、 Wafer transfer: Vacuum arm transfer(ARM建议采用大众产品 ) 5、 Auto focus: 支持 6、 Inspection Modes:可定 map(5 point) 7、 Wafer cassette: Dual(2eas) SMIF POD( SMIF建议采用 :ASYST) 8、 Top macro inspection 9、 Back macro inspection 10、 Support auto EAP system: SECS/GEM INTERFACE 11、 2nd Back Macro inspection 12、显示器的显示的图像与目镜看到的图像一致。 数量: 1台 交期: 90 日历天。 二、资格要求 (一)必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件: 1、具有独立承担民事责任的能力。 2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。 3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。 4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。 5、法律、行政法规规定的其他条件。 6、需提供参加本项目投标活动前三年内,在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明; 7、未被列入“信用中国”网站 (www.****.cn )失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”( www.****.cn )政府采购严重违法失信行为记录名单,提供网上查询结果记录(查询日期在发布公告之后),截图打印。 (二)特定资格要求: 1、参与企业必须为行业经验 3年以上。 2、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商(从事行业经验不少于 3年),代理商必须持有生产厂家代理证书(代理时间不少于 1年),不接受项目授权证书。 3、提供近三年合同业绩清单 3、本次招标不接受联合体投标。 三、供应商资料递交截止时间和地点 (一)截止时间: 2022/10/14 12:00 (二)地点:****开发区****路 6号 四、联系事项 联系人:朱诚 电话: 027-****8302 五、监督电话: 审计监察部: 027-****8317
**** 2022年10月8日
**** 2022年10月8日
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