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电子探针。用于分析试样中微小区域的化学成分。需达到以下参数：1、电子光学系统：（1）电子枪：场发射枪（电子枪寿命保证3年）；（2）二次电子像分辨率：≤3nm (30kV, 1×10-11A,工作距离11mm)；束斑尺寸：≤20nm (10kV, 1×10-8A,工作距离11mm)；束斑尺寸：≤50nm (10kV, 1×10-7A,工作距离11mm)；（3） 空间分辨率好于0.1μm；（4）最大束流不小于2μA；（5）背散射电子像灵敏度：成分分辨率高；（6）加速电压：0-30kV；（7）物镜光栏：四级可变光栏；（8）图像放大倍数：×40～×300,000，连续可调；（9）电子像的歧变：＜3% (＞400倍放大率), ＜5% (＜400倍放大率)；（10）电子束位移：小于1μm/h；2、波谱系统（1）分析元素：5B - 92U；（2）分析精度：主量元素好于1%( 含量≥5%时)和次要元素优于5%(含量～1%时)；（3）谱仪的稳定性：记数率的重复性(给定波长位置)好于0.5%。峰位置重复性(同一分光晶体)好于0.5%。峰位置重复性(交换分光晶体后)好于2%；（4）谱仪道数：5道波谱仪(元素覆盖4Be-92U)；（5） 谱仪控制：异步控制和同步控制两种；3、光学显微镜系统具有反光显微镜，分辨率：≤1μm，放大倍率300倍，观察CCD彩色相机，图像可同时显示二次电子像、背散射电子像、彩色光学显微象，焦深≤±1μm；4、样品台系统：（1）样品台微动模式为最小步长：≤0.02μm；（2）样品台重复精度：≤±1μm；（3）面分布图分析精度：≤0.08μm；（4）漂移补偿软件，元素面分布图自动过滤软件；5、真空系统（1）真空度：电子枪室真空度好于5.0×10-8 Pa 数量级，样品室极限真空度好于8.0×10-4 Pa；（2）真空泵：离子泵、分子泵抽气系统；分子泵类型：磁悬浮（不是轴承式）；（3）抽真空时间：全系统 ≤20 min；（4）样品交换时间少于2分，电子枪室少于2分；真空控制系统为全自动；（5）真空度检测：高真空规(Penning gauge)及低真空规（Pirani gauge）； 6、电子探测器；7、数据处理系统；8、电子探针操作软件；9、一体化能谱仪（1）能谱探测器：电制冷型，晶体有效活区面积≥30mm2；（2）元素范围:4Be-92U；（3）能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV（MnKα）；（4）可与波谱仪一体化分析；10、高真空镀膜仪：真空度≤1.3×10-3 Pa，可以蒸金或蒸碳； 11、分析标样（全套地质标样）。采购台数1台

陈老师136********