广东工业大学2022年10月至2022年11月政府采购意向
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2022年10月至2022年11月采购意向公开如下：
| 1 | 光子芯片加工及封测平台采购 | 标的名称：光子芯片加工及封测平台 标的数量：1 主要功能或目标：双面光刻机 电子束蒸发 磁控溅射 电感耦合等离子体刻蚀（ICP） 等离子体增强化学气相沉积（PECVD） 快速热退火 等离子清洗机 匀胶机 热板 台式真空干燥箱 超声波清洗机 晶圆划裂片系统 贴膜机 扩晶机 全自动二流体清洗机 芯片转料机 微波等离子清洗机 高精度自动贴片机 金丝球楔一体键合机 双电子束蒸发镀膜机 精密程控位移台 光子芯片与光波器件综合测试系统 双路垂直光耦合系统 需满足的要求： | 按国家相关政策执行 | 22,657,500.00 | 2022年11月 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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2022年10月20日
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