序号

采购项目

名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

备注

1

扫描电子显微镜及能谱仪采招项目

1 电子光学系统

1.1 电子枪类型：钨灯丝电子枪

★1.2二次电子（SE）像分辨率： 30 kV时优于3.0 nm；3kV时优于8 nm

背散射（BSE）像分辨率： 30 kV时优于4.0 nm

★1.3 放大倍率范围：不小于5 ～ 1,000,000倍，可连续调整

1.4 加速电压：范围不小于200V 至 30kV，连续可调；

1.5 电子束流：范围不小于1pA～2uA，连续可调

1.6束斑调节：采用无物镜光阑式设计，束斑大小可连续调节并由系统自动控制设定最佳值

2 样品室和样品台

2.1 样品室：样品室内径不小于230mm，可放置最大样品高度不小于70mm

★2.2 样品台：五轴马达驱动，移动范围：

X≥ 70mm； Y≥50mm； Z≥50mm； T轴可调节角度不小于105°，R = 360°连续旋转；

2.3 样品室接口：不少于6个；

3 探测器不少于以下配置

3.1 二次电子探测器

★3.2四分割式背散射电子探测器；

3.3 CCD红外摄像头

3.4束流测量装置

4 真空系统

4.1 1个分子泵,1个机械泵

4.2 抽真空时间≤3分钟

5 工作站

5.1电镜控制器，最低配置要求：

****工作站，Intel Core 3.0GHz以上CPU；DDRIII 4.0GB内存；500GB硬盘； 24” LCD显示器

5.2 操作方式：键盘、鼠标、轨迹球

5.3 电镜软件操作语言：含中文的多语言界面

6 附件、耗材及其他配置

6.1 电镜专用工具1套

6.2 备用灯丝10根

6.3 导电胶带2卷

6.4 φ12.5样品台20个

★7 能谱仪

7.1 探测器：采用硅漂移（SDD）电制冷，具有30mm2有效活区面积，超薄窗设计，独立真空；

7.2 能量分辨率：在探测器总100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV；

7.3 元素分析范围:B5～U92

7.4谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，48小时内峰位漂移小于1.5eV

7.5具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位。

7.6谱定性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围；可自动扣除背底，并支持用户手动调整；可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离

7.7 配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(K, L, M 和 N线系)，实现1-30kv精确定量。

7.8定量分析：提供两种定量方法，并可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；可以得到归一化和非归一化定量结果，可以用化学配位法得到非归一化结果。

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2023年5月