序号

详细配置名称

配置和技术规格要求

1▲

炉体

炉膛有效加热区大小∮500*500，炉体处理时额定重量300KG；炉体为双层水冷结构，内外壁均采用304材质，并经精密抛光，表面光滑，有利于缩短抽气时间，且便于清洁，中间通水冷却，确保炉壁温度低于55℃。炉体的侧部安设有水冷电极。炉体设有真空抽气接口、电极接口、充放气接口、破真空口。

6▲

真空系统

真空度10-5pa；真空系统采用一台磁悬浮分子泵、一台涡旋干泵。此外，包括气动超高真空挡板阀、真空管路、真空规管、真空压力表等。真空管道与泵的连接采用CF连接，确保无漏点保证超高真空的实现。真空测量由数显复合式真空计测量。

8▲

温控系统

常用温度：1900℃；

两种控温模式：1.测温元件采用一支钨套管钨铼热电偶和红外测温仪控温，室温~1600℃采用钨铼热电偶控温，1600℃及以上热电偶自动退出炉膛，1600℃~2000℃切换为双比色红外测温仪控温，配合温度控制仪进行温度闭环控制，热电偶和红外测量温度并供给温度控制器控制信号，从而调整功率调控器的输出，从而控制变压器的输出大小，以满足系统的控温需求。2.通过测试找到隔热屏内对应的温度直接用钨铼热电偶控制温度信号从而调整功率调控器的输出，从而控制变压器的输出大小，以满足系统的控温需求。两种控温模式可以切换选择。此外，在保温屏外侧，设有监测热电偶，当系统超温时，通过控制系统及时切断加热电源，确保设备安全。