技术规格及参数 | 一、屏蔽电学测试平台 1. 精密探针平台 1.1 探针台体整体行程X-Y:50mm-50mm,精度≤2μm; 1.2 样品台X,Y,R三轴可调,移动精度2μm,样品台旋转角度:360度;样品台面直径≥2cm,适配超短探针; 1.3 ****中心吸附孔固定样品;真空泵流量≥7L/min; 1.4 光电屏蔽罩壳,4个3同轴接口;空间自由光路安装面包板,长宽≥900*700mm,可以兼容氙灯光路、空间耦合激光光路、线偏及圆偏光路等复杂测试。 2. 三同轴高精度探针座,数量3个: 2.1 磁力吸附底座,X-Y-Z方向行程≥12mm;线性移动,移动精度≤2um; 2.2 三同轴探针夹具,漏电流: <100fA,三同轴接头; 2.3 测试探针:5um针尖直径,折弯高度2mm,硬针5PC/box;
二、金相显微系统 1. 6个物镜安装位,长工作距离物镜5、10、50倍物镜各一个,工作距离均大于18mm;95mm长工作距离100倍物镜1个,工作距离6mm,透射波长范围400~1100nm(高透射率范围400-700nm); 2. 白色LED照明:1W LED,可调光;滤光片照明特征波长400,470,520,600,670nm; 3. 显微相机:1200万像素,曝光时间10ms~999ms,自动白平衡; 4. 显微粗微调支架,调节范围≥25mm,调节精度≤1um; 5. 电动快门:最高频率≥10Hz;
三、光电流测试系统 1. 瞬态光电测试系统 1.1 光电流采样率:10MS/s,垂直分辨率16bit。带傅里叶变换功能,最高频率1MHz。附带50Ω至100kΩ共5个定值电阻。 1.2 电流放大器:量程5nA-500uA,最高上升速度5us 1.3 激光调制器:采样率125MHz,模拟及数字调制最高频率10MHz,带同步输出功能; 2. 交流电信号测试模块 2.1 最大量程1uA; 2.2 频率范围:1mHz-102.4kHz 2.3 动态范围:>100db 2.4 相位分辨率:0.01度 2.5 时间常数:10μs-30ks 3. 高精度光功率计:紫外可见探头光强测试范围200-1100nm,分辨率100pW,量程500pW-50mW
四、光电流压电扫描模块 扫描范围:≥100μm 定位分辨率:≤20nm 扫描光学分辨率:≤1μm(50倍物镜);支持100X物镜高光学分辨率扫描 扫描点数:≥最大300*300点
五、测试测量软件 1. 光电测试软件:自动进行I-V、I-t、I-V-光强测试、自动激光光强校准,预留激光控制调用接口。 2. 瞬态光电测试软件:高速IT测试功能;带宽测试功能;示波器电压/电流测试功能,直接读取示波器输入电压或电流;带工频滤波功能,有效去除50Hz噪声; 3. 软件集成控制客户提供的双通道系统源表、数字源表及数字锁相放大器。 |