上海大学2023年09月政府采购意向
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 ****2023年9月采购意向公开 如下：
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 1 | 双工位手套箱超高真空PVD集成镀膜系统 | 2年质保，供货期5个月。 蒸镀速度精度：0.01Angstrom/s；膜厚精度：0.001kAngstrom ；8”基片膜厚均匀性<±3%；晶圆大小：8英寸；蒸镀腔体真空度要求：低于4×10-8mabr；加热温度：300°C；双腔体设计；手套箱箱体：单柱气体净化系统，可得水氧含量<1ppm。 | ****000.00 | 2023-09 |
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