冷等离子体合成系统
采购结果详细( ****)---- **大学
申购单主题: | 冷等离子体合成系统 | 申购单位: | **** | ||||
申购备注: |
设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
冷等离子体合成系统 | 途胜 | 详见配置清单 | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
规格 | 1)固态射频电源及匹配箱,品牌中科院微电子,型号RFG,数量2,规格要求:功率1000 W和500 W各1台,频率 13.56 MHz; 2)质量流量控制计,品牌**华创,型号CS200A,数量8,规格要求:N2 1slm 6mm双卡套接头 水**装 数字式 DJ2CV-UG6电磁截止阀 明纬电源 24V,50W 80#波士卡转USB转换线 赠送6mm双卡套接头及电源线,串联线若干; 3)复合真空计,品牌中科科仪,型号ZDF-11B5,数量2,规格要求:测量范围:1*e5-1*e-5,含:电阻规ZJ-52T(CF35),电离规ZJ-27(CF35),KF25接口 4)真空泵,品牌飞越, 型号VRD-16,数量2,规格要求:抽速:16m3/h 4.4L/S,极限压力: 0.4Pa,噪音:≦58dB,电源:单相/三相,电机功率:0.75/0.55 Kw,电机转速:1400/1720 rpm,工作环境: 5-40 ℃,油量:0.9-1.5 L,进排气接口:KF25,重量: 30Kg,尺寸:530*188*272 mm,油品: VPO-68H (品牌:日本松村)。配真空管2米,外接KF25转接头,卡箍。 5)台式电脑,Dell,型号OptiPlex 7090MT,数量1,规格要求:Intel i7处理器,内存64G;硬盘容量1TB SSD+1TB HDD;系统Windows 11;WIFI; 27英寸显示器;带原装鼠标键盘。 6)气路系统:减压阀6个、球阀13个、单向阀9个、无缝钢管30米、导轨4米、质量流量计底板1块、减压阀底板6块 7)尾气处理系统,品牌绿森环保,型号绿森CVD-1Q2,数量1,规格要求:活性炭过滤箱,304不锈钢外壳;排气管道和气路开关 8)真空配件 | ||||||
中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
**** | 195000 | 最低价原则 |
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