全自动磁控溅射系统
(略)2024年5至6月政府采购意向-(略) 详细情况
2024年04月03日 08:(略)
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项目所在采购意向: | (略)2024年5至6月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | (略) |
预算金额: | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况 : | 真空度小于5E-8Tor(略)*60mm厚的圆靶材;样品尺寸5英寸以上;1个750W直流电源,其中1个电源自带4路切换器,可切换连接4个靶枪;可兼容6英寸及其以下尺寸的基片,连续自动旋转(略)RPM,基片最高(略),PID温控精(略):±2.5%。 |
预计采购时间: | (略) |
备注: |
本次公开的(略),具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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