高真空有机金属蒸发镀膜机（XF-WSBX-2400106）采购公告

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高真空有机金属蒸发镀膜机（XF-WSBX-2400106）采购公告

更新时间	2024年04月30日
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关键信息	金属蒸发镀膜机
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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空有机金属蒸发镀膜机	****
2024-04-30 17:22:56	2024-05-08 19:00:00
****	货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额

	成交后30个工作日内
￥325000.00




******港校区和同苑9幢1009
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空有机金属蒸发镀膜机

台

真空应用设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

泰克诺

￥ 325000.00

1.有机/金属镀膜室：镀膜室净尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作，方箱式，配有前、后门，前门和后门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为常闭门，便于设备清理维护；特点：镀膜设备与手套箱复合一体式设计，可在脱离手套箱条件下单独调试、使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠； 2.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，“两低一高”数显复合真空计； 3.真空指标：极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分体，设备空载抽真空24小时)抽速：从大气抽至10-4Pa≤40min；设备升压率≤0.8Pa/h; 4.水冷式基片台：抽屉式结构，承载最大小于120×120mm 基片；配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0～20 转/分钟可调；蒸发源到样品可调节距离：70mm；蒸发源与基片距离约260-330mm；基片台间接水冷。 5.金属源：水冷铜电极3组；蒸发电源:功率 1500W，1台（可实现1拖2）；进口日本TDK； 6.有机源：束源式控温有机蒸发源（最高温度600°），3 组；有机蒸发源特点：角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：3套（独立PID 智能温控蒸发）；采用日本TDK 蒸发电源Z+20-10；配4组气动挡板及源间防污隔板； 7.膜厚控制系统：Inficon进口晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚，型号SQC-310，双探头； 8.控制方式：采用 PLC+液晶屏+工控机全自动控制； 9.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 10.配备有循环水冷机及空气压缩机，各1台；

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

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