金属有机化学气相沉积设备升级（JJ2024000071）采购公告

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金属有机化学气相沉积设备升级（JJ2024000071）采购公告

更新时间	2024年06月12日
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关键信息	金属有机化学
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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

金属有机化学气相沉积设备升级	****
2024-06-12 14:27:46	2024-06-15 16:00:00
****	内贸：全部货物交货并最终验收合格后，乙方向甲方提供全额的正式发票（10万元以上的国产设备乙方必须提供全额的增值税专用发票），甲方凭验收合格材料向乙方支付100%的合同款。

	内贸：合同签订后15个工作日内
￥280000.00




**科教园308
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

金属有机化学气相沉积设备升级

批

电子工业生产设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

**林科紫外

定制

￥ 280000.00

1. 反应室的改造：需要将顶部的喷淋头与石墨基座的距离由目前的273mm,修改为30 mm。主要部件：（1）拆除旧反应器，安装新设计制作的反应器。（2）顶部气室，需要重新设计制造和加工。（3）喷淋头，重新设计，加工。（4）重新设计定制石英管2件。（5）外有机玻璃管需重新设计和加工。（6）上下铝环，重新设计加工。（7）连接顶部气室的进气管道改造。（8）顶部气室（包括喷淋头，两路进气管道改造）1套。（9）喷淋头的水冷需重新设计，加工。 2. 反应气路的改造： 1) 更换若干个专用反应室MKS压力控制器。 2) 更换并修改氧化镓专用的质量流量控制器MFC和压力控制器PC（都是美国Brooks的产品），并进一步检修调试，调试控制部分PLC模块，接线，控制程序等。 3) 将原有NH3、H3质量流量控制器MFC和压力控制器PC升级成氧气、笑气专用的MFC和PC。 4) 更换专用热电偶和专用插座。 5) 更换自动温控器。 6) 根据工艺要求，将O2和Ar气路进行互调。 7) 将氨气纯化器移到O2进气气路。 8) 添加恒温水浴和4个MO源，将4个MO源接入系统，检漏并清洗。 3. 耐高温、抗氧化配件升级 1) 样品石墨托更换成具有碳化硅涂层的石墨托。 2) 加热支撑件升级成耐氧化高温钢。 3) 加热器高温隔氧保护。 4) 将原有NH3、H3纯化器改造成O2、N2O纯化器（纯度7N）。

质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:当地;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;

附件下载:MOCVD升级设备价格清单.docx

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