项目概况

采购类型	采购
项目编号	****
项目名称	****（**）液体前驱体供应系统等四个设备采购项目
申购主题	下电极射频偏压源,光发射谱终点检测装置,液体前驱体供应系统,激光终点监视仪
项目类型	货物采购	项目预算	760,000.00(人民币)
采购开始时间	2024-07-11 09:18	采购结束时间	2024-07-16 09:00
采购单位	****（**）
经办人	沈老师	经办人电话	186****1497
期望收货时间	合同签订后60天交货
是否送货	是	送货地址	**大学**校区海琴4号楼D401
电子签章	无需使用
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价，****公司必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3.外贸进口有关的一切费用（包括但不限于外贸代理费用、清关费用、银行手续费、海关监管手续费、报关费用、商检费用、申办机电批文费用、机场码头费等）。”均由中标方承担，需含在投标总价中。其中，“外贸代理费用”（红字部分****公司（**中****公司）代理手续费，****实验室与**中****公司签订的协议执行，中标方收费标准请见附件；其他费用在实际过程中产生，按附件表格标准收取。

采购明细

1采购设备	下电极射频偏压源
数量	1台
参考品牌

序号 技术要求内容 评分等级 是否星号条款 是否需要附件说明

1	功能：为ICPECVD沉积系统提供下电极射频偏压、主要用于提**阶覆盖率、特别是实现沟槽填充工艺（Trench Filling）	重要	否	否
2	射频频率：≥ 13.5 MHz，符合SEMI标准	非常重要	否	是
3	最大功率：≥ 300 W	非常重要	否	是
4	功率分辨率：≤ 0.2%设置值	非常重要	否	是
5	输出阻抗：≤ 50 Ohm	重要	否	否
6	配置自动匹配器，可自动或手动匹配	非常重要	否	是
7	射频连接接口：标准7/16接口	重要	否	否
8	控制模式：正向功率、偏置电压	重要	否	否
9	配置开关电源	重要	否	否
10	冷却方式：空气冷却	非常重要	否	是

2采购设备	光发射谱终点检测装置
数量	1台
参考品牌

序号 技术要求内容 评分等级 是否星号条款 是否需要附件说明

1	功能：采用光发射谱OES检测技术、为ICPECVD沉积系统的等离子体干法清洗工艺提供终点检测、节约清洗占用时间和工艺气体	重要	否	否
2	配置：光发射谱仪、光纤、光纤准直件、石英/蓝宝石窗口、窗口适配器、光谱仪软件	重要	否	否
3	波长范围：不小于200~1100 nm	非常重要	否	是
4	光谱分辨率：≤ 1.2 nm	非常重要	否	是
5	模/数转换器：≥ 16 bit	非常重要	否	是
6	CMOS探测器：像素≥ 2048	非常重要	否	是
7	集成时间范围：不小于10 ms ~ 1 min	重要	否	否
8	USB接口，数据传输速率：≤ 1.8 ms/scan	非常重要	否	是
9	光纤接口：标准SMA 905接头	重要	否	否

3采购设备	液体前驱体供应系统
数量	1套
参考品牌

序号 技术要求内容 评分等级 是否星号条款 是否需要附件说明

1	功能：为ICPECVD沉积系统提供TEOS/HMDSO等液体前驱体、实现非硅烷的氧化硅沉积工艺	重要	否	否
2	配置：前驱体罐、气动阀、阀门加热盒、氩气质量流量计、电源和电路控制器、排气口	重要	否	否
3	温度操作范围（前驱体罐）：不小于50~100°C	非常重要	否	是
4	前驱体罐容积：≥ 600 ml	非常重要	否	是
5	TEOS流量：≥ 5 sccm	重要	否	否
6	氧化硅生长速率范围：不小于5~50 nm/min	非常重要	否	是
7	氧化硅折射率范围：不小于1.45~1.48	非常重要	否	是
8	电路控制：采用总线控制（bus node）	重要	否	否
9	前驱体罐支架板可升降调节空间、适用于不同尺寸的前驱体罐	重要	否	否

4采购设备	激光终点监视仪
数量	1台
参考品牌

序号 技术要求内容 评分等级 是否星号条款 是否需要附件说明

1	功能：采用反射干涉法原理、实时监测ICPECVD沉积系统的沉积膜厚值	重要	否	否
2	激光波长：≥ 670 nm	重要	否	否
3	测量时间：≤ 1 s	非常重要	否	是
4	工作距离范围：不小于150~500 mm	非常重要	否	是
5	光斑尺寸@150 mm距离：≤ 100 um	非常重要	否	是
6	视场范围@150 mm距离：≥ 1.5 mm x 1.5 mm	重要	否	否
7	带X-Y电动位移台，行程范围：不小于25 mm x 25 mm	非常重要	否	是
8	位移台位移分辨率：≤ 2 um	重要	否	否
9	光学窗口材料：蓝宝石	重要	否	否

资质要求

序号 要求名称 条件类型 要求内容 是否需要附件说明

1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公盖章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是
5	第5条资质参数	符合性参数	供应商信用-投标供应商需提供在信用中国或其他权**用查询网站的信用报告;报告中需写明供应商的经营许可范围;若未写明经营许可范围;需再提供佐证材料	是

商务要求

序号 要求名称 要求内容 是否需要附件说明

1	合同履约	该项目对应的付****实验室合同范本执行；下载地址：http://www.****.com:8089/attachment/template/SMS/htmb.zip	否
2	免费保修年限	5年及以上 4年 3年 2年	是
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式	是

1.报名须知：
a、请登录wisdombidding.com选择相应项目，点击界面下方“我要报价”按钮。
b、首次访问的用户需注册，经系统审核后，再登录查看可报名项目，按系统提示报名。
c、报名材料除产品彩页外均需加盖公章，扫描上传。
2、注册审核时间为（工作日8：30 - 17:30），一般为当个工作日。
3、缴费确认时间（工作日8：30 - 17:30）：
a、对公转账一般到账时间需要四个小时，缴费确认需要四个小时以上，节假日期间请使用微信支付。
b、推荐使用微信支付，微信支付实时到账系统自动确认收款，可马上报价。
4、资料准备时间为1-2日，报价材料除产品彩页外均需加盖公章，请供应商提前准备。
5、供应商第一次报价可能需要较长时间，请提前报价。