纳米位移台
****2024年11至1月政府采购意向-纳米位移台 详细情况
| 纳米位移台 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年11至1月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 纳米位移台 |
| 预算金额： | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A020611半导体直、变流设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：5套； 一、位移台 1、类型：六轴压电位移台； 2、x、y、z轴行程（闭环）：≥150μm； 3、θx、θy、θz轴行程（闭环）：≥±0.45mrad； 4、x、y、z轴分辨率（闭环）：≤3nm； 5、θx、θy、θz轴分辨率（闭环）：≤0.5μrad； 6、x、y、z轴重复定位精度：≤10nm 7、θx、θy、θz轴重复定位精度：≤1μrad； 8、最大负载：≥20N。 二、控制器 1、控制轴数：6轴； 2、采样率：≥10kHz； 3、通讯接口：网口； 4、提供C#应用程序接口； 5、电缆长度：≥3m。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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