DY2024030-北京大学有机-金属化学气相沉积系统单一来源公示
****-****有机-金属化学气相沉积系统单一来源公示
****实验室主要从事低维材料可控制备方面的研究,目前承担了制备大面积二维半导体晶圆的研究任务;研究需要实现大尺寸二维金属硫化物生长,在研究的过程中,需要利用“有机-金属化学气相沉积系统”来实现过渡金属源均匀供给,因为金属硫化物生长参数较复杂,需要精确控制生长过程,并根据生长情况逐代调节,这就需要“有机-金属化学气相沉积系统”的托盘通过软件精准控制升降、旋转;经过调研,目前只有**市纳设****公司的2D-MOB1型“有机-金属化学气相沉积系统”能够满足研究的需要;因此,特申请以单一来源的方式进行采购。
单一来源公示2024年9月5日到2024年9月12日。
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