上海工程技术大学 - 竞价公告(CB108562024000135)
**** - 竞价公告(****)
发布时间:2024-09-19 09:32:21 截止时间:2024-09-22 09:42:10
申购主题: 清洗机
报价要求: 国产含税
发票类型: 增值税专用发票
付款方式: 货到验收合格后付款
收货地址: **市/市辖区/**区/****
供应商资质:
备注说明:
送货时间: 合同签订后45天内送达
安装要求: 免费上门安装(含材料费)
预算: 180000.0人民币
清洗机 | 1.0/台 | 180000.0 | 不指定 | 不指定 | 1.需要兼容6英寸以上的硅片刻蚀工艺和光刻工艺的清洗,也可以用于DIE、sensor和led板等对象的清洗; 2.需配备化学液清洗槽和QDR清洗槽,每次清洗硅片>25片; 3.化学槽需兼容氨水和双氧水等常见清洗液; 4.颗粒物去除率需>80%; 5.OXE ER应该>30 A/15 min,颗粒控制<18 ea; 6.需配备溢流、喷淋、鼓泡、快排模块加强清洗效果。 7.需为本单位提供机器操作培训,设备最长可以在交付后一年内启动使用,启用之后一年的整机质保,质保期内需提供免费上门维修服务。 8.为保证工艺一致性,刻蚀机和清洗机需要为同一家设备供应商。 | 设备最长可以在交付后一年内启动使用,启用之后一年的整机质保,质保期内需提供免费上门维修服务。 |
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