[HF20243174]MEMS月震计光刻显影及金属镀膜工艺加工成交公告

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1.项目名称：MEMS月震计光刻显影及金属镀膜工艺加工

2.成交供应商名称：****

3.成交供应商地址：中国（**）自由贸易试验区**片区**区长青乡兴华**侧H-2路西侧智能显示产业园内6#厂房

4.成交金额(币种)：18.840万元

5.付款方式：合同签订后15个工作日之内预付合同金额的30%，服务完成且验收合格后付合同金额70%，

序号

服务内容

服务期限

技术指标:

(1)光刻精度:1um

(2)光刻胶厚度:>10um;

(3)金属镀膜厚度误差:±50nm;

晶圆数量:12个

三个月

****

2024年11月06日

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