北京大学深圳研究生院 - 竞价公告(CB10001SZ2024000026)
**** - 竞价公告(****)
发布时间:2024-11-12 08:48:07 截止时间:2024-11-19 12:00:00
申购主题: 12通道滑动式CVD系统
报价要求: 国产含税
发票类型: 增值税专用发票
付款方式: 货到验收合格后付款
收货地址: **省/**市/**区/****
供应商资质:
备注说明:
送货时间: 合同签订后45天内送达
安装要求: 免费上门安装(含材料费)
预算: 人民币
12通道滑动式CVD系统 | 1.0/套 | **翰军 | HTF-1200 | 炉体结构:移动式炉体,双层壳体结构 炉膛材质:真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好 加热区配置:≤400mm+400mm 温控系统:温度控制系统采用人工智能调节技术,具有 PID 调节、自整定功能,并可编制 30 段升降温程序;控温精度±1℃ 显示模式:仪表面板显示 加热元件:0Cr27Al7Mo2 测温元件 N 型热电偶(可选配内置热电偶,实时监测恒温区温度) 使用温度 最高温度 1200℃,连续工作温度≤1100℃ 炉管材质:石英管 真空度 ≦10pa 真空压力表:威卡防震式机械压力表(测管内正压)+数显真空计 炉体结构:固定式炉体,双层壳体结构,两台加热炉放在同一个铝合金支架上 炉膛材质:日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好 加热区配置:≤240mm 炉膛内径:≤Φ100 保温层厚度:≤80mm 加热炉尺寸:≤250*300*250 温控系统:温度控制系统采用人工智能调节技术,具有 PID 调节、自整定功能, 显示模式:仪表面板显示 加热元件:kanthal-A1 测温元件:K型热电偶 使用温度:最高温度 1100℃,连续工作温度≤1000℃ 炉管材质:石英管 炉管尺寸:Φ25*700 对接:惰性氛围系统确保无泄漏 12通道混气系统: 标准量程(N2标定):50sccm、100sccm、200sccm、500sccm(可根据用户要求定制),准确度:±1.5%,线性:±0.5~1.5% 重复精度:±0.2%,响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec 工作压差范围:0.1~0.5 MPa,最大压力:3MPa,接口:Φ1/4, 显示:4位数字显示,工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管:Φ6,压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀:Φ1/4,法兰进气口,预留一路三通,需要加阀门。 真空系统 功率:0.75千瓦,抽气速率:16(4.4),实验真空度:≦5Pa 容油量:0.9-1.5L,进气口口径:KF25,排气口口径:KF25,转速:1440/1720rpm | 按行业标准提供服务 |
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