一、招标内容：1.DICR 机箱开发
减震系统控制机箱（以下简称DICR）具有测量框架主动减振功能和物镜主动减振等功能。总线指标值
VMEbus符合VME64x 规范。控制总线，VME，用于主板访问各从卡地址，
SBC 主板命令下发，控制总线中断接收等。SRIO 通信速率5Gbps，SRIO 用于多卡之间的数据传递与数据共享。
SYNC 通信速率10Mb/s，以太网通信速率1000Mbps

2.MCR 机箱开发
运动控制机箱（以下简称MCR）为工件台分系统及掩膜台分系统提供支撑，
包含数据的解析、信号采集、驱动控制等。总线指标值
VMEbus
符合VME64x 规范。控制总线，VME，用于主板访问各从卡地址，
SBC 主板命令下发，控制总线中断接收等。
SRIO 通信速率5Gbps，SRIO 用于多卡之间的数据传递与数据共享。
SYNC 通信速率10Mb/s
以太网通信速率1000Mbps
3.MFB 光纤转接卡定制、EICR机箱定制
EICR 系统配置，采用SBC、MCB、EICB 模块组合实现。此方案采MCS-V
并行控制总线（VMEbus），加串行数据链接(SRIO) 技术实现系统性能优化。具
有同步控制能力。
4.PAIR 机箱定制
65PAIR 是工件台系统现场的信号采集板卡系统，系统内部包含电源模块、
PAIB 含信号采集控制板卡、背板、电源和风扇，主要用于WS 的电机温度、模
拟量传感器、数字信号、电磁阀等信号的采集或控制。采用PAIB-65 模块和MPSB-L 电源模块，信号传输板和电气背
板等配件组合实现。此PDS 方案采用用户自定义（UDB）总线完成各模块关联，
并通过信号传输板完成电气信号连机器连接。
PAIR65 机箱为非标定制机箱，宽度84HP，高度7U，采用铝型材加工，机
箱由220mm 信号板、电源板、信号传输板和信号线等部分组成，所有部分的供
电和信号由一块整体背板集成。
5.IFSR位置测量机箱定制
IFSR 系统采用SBC、MCB、SCM、SWC、LAB、ENCB、MIOB 等多种模
块组合实现。此IFSR 方案采用并行控制总线（VMEbus），串行数据链接(SRIO)
技术实现系统性能优化，具有P2Bus 干涉仪位置数据采集能力。
6.65RSMR机箱定制
65RSMR（Reticle Stage Module Rack）机箱是掩模台管理机箱，机箱内部
包含电源模块、65SSPB-R 板卡、背板，主要用于RS 的电机温度采集、模拟量传
感器、数字信号、电磁阀等信号的采集或控制：1、原点、限位等数字信号的采集；
2、气控压力检测信号采集；
3、加速度计信号采集；
4、电机温度信号采集；
5、电磁阀、比例阀的控

二、资格要求：可接受验厂，需具备加工及制板能力、设计能力等。具有质量体系认证证书。具有较为齐全的测量设备。

三、招标时间、地点、方式：2024年10月24日-2024年11月15日。地点：**；方式：线下对接。

四、对接及谈判时间、地点：2024年11月09日，地点：**。

五、采购单位名称：****；联系人：马越，电话：010-****6807

六、采购单位地址：**市**区上地六街17号康行大厦5层6514