A****0699其他试验仪器及装置

拟采购超滑涂层材料HiPIMS沉积设备1台，技术参数需求： 1 镀膜室内切圆直径为≥800mm，高≥800mm；2个大矩形靶位，2个小圆形靶位；主材不锈钢304制造; 2 24小时极限真空优于8×10-4Pa，漏率小于0.5Pa/h，室温空载下从大气到8×10-3Pa在20min之内； 3 具备高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）功能，可实现HiPIMS溅射，制备多元复合涂层； 4 具备至少4路气体通路，可实现多种气体混合溅射沉积； 5 实现全自动程序控制，精确控制镀膜工艺。 6工件转动系统可以实现公转+自转，单独自转，角度可调，正反可调。