Sputter(二手)设备安装调试
****2023年4至12月政府采购意向-****(二手)设备安装调试 详细情况
2023年03月24日 18:03
****(二手)设备安装调试 | |
项目所在采购意向: | ****2023年4至12月政府采购意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | ****(二手)设备安装调试 |
预算金额: | 300.000000万元(人民币) |
采购品目: | C0599-其他维修和保养服务 |
采购需求概况 : | ****(二手)设备耗材及安装调试。实现四腔****的材料生长溅射能力。调试后真空可以达到如下指标:真空可以达到10-7Pa;微波等离子清洗;共溅射功能,变组分材料制备;超低的放电电压,低损伤成膜。长射程型实现良好的膜厚分布;溅射粒子能量控制,低速率控制,超薄膜形成;低温溅射。 |
预计采购时间: | 2023-09 |
备注: | 以实际公告为准 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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