集成电路科学与工程学院北航智能微纳公共创新中心5种设备机台配套工艺气体分配控制系统竞价结果公示
集成电路科学与工程学院北航智能微纳公共创新中心5种设备机台配套工艺气体分配控制系统竞价结果公示 发布时间:(略)
项目信息 | 项目名称 | 北航智能微纳公共创新中心5种设备机台配套工艺气体分配控制系统 | ||
申购业务号 | (略) | |||
采购单位名称 | 集成电路科学(略) | |||
成交信息 | 成 交 价 | (略).5元 | ||
成交供应商 | 液化空气上海有限公司 | |||
采 购 清 单 | ||||
序号 | 名 称 | 规格型号 | 数 量 | |
1 | LPCVD工艺气体分配和控制系统 | / | 1台 | |
2 | RPS设备工艺(略) | / | 1台 | |
3 | RTP设备工艺(略) | / | 1台 | |
4 | 真空互联设备设备工艺气体分配和控制系统 | / | 1台 | |
5 | SPTS设备工艺气体分配和控制系统 | / | 1台 | |
公示期从2023年11月16日起至2023年11月19日止。 |
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