燕东科技12吋半导体集成电路套刻精度测试设备采购评标结果公示公告(1)
- 项目编号： ****
- 公告类型： 评标公示
- 截止时间： 2023-12-04 23:59:00
- 招标机构： ****
- 招标地区： **市
项目名称：燕东科技12吋半导体集成电路套刻精度测试设备采购
招标项目编号：****
招标范围：1 套刻精度测试设备 2台 实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中利用照明与成像的方式，获取晶圆上的套刻图案的图像，通过算法对套刻图案进行信号分析，计算当层与前层曝光图案的位置偏差，监测光刻工艺的好坏。
招标机构：****
招标人：****
开标时间：2023-11-28 10:00
公示开始时间：2023-11-29 20:04
评标公示截止时间：2023-12-04 23:59
中标候选人名单：
招标项目编号：****
招标范围：1 套刻精度测试设备 2台 实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中利用照明与成像的方式，获取晶圆上的套刻图案的图像，通过算法对套刻图案进行信号分析，计算当层与前层曝光图案的位置偏差，监测光刻工艺的好坏。
招标机构：****
招标人：****
开标时间：2023-11-28 10:00
公示开始时间：2023-11-29 20:04
评标公示截止时间：2023-12-04 23:59
中标候选人名单：
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