****对物理气相沉积设备项目以单一来源方式进行采购。

一、项目基本情况：

1、项目编号：****

2、项目名称： 物理气相沉积设备

3、项目预算：1600万元人民币。

二、公示内容(详细说明购置理由及单一来源采购理由)：

半导体器件制备过程中，金属成膜质量直接决定着器件欧姆接触的形成和导通阻值、开态电流等性能。该设备的引入能够解决8英寸碳化硅功率器件正面、背面金属薄膜均匀性差、相互污染等问题，推动半导体芯片、微纳加工等领域关键科学和技术的突破。

北****公司生产的物理气相沉积设备，拥有独家的磁控专利技术，能够制备致密度高、均一度好、粘结力腔、颗粒度少的金属薄膜；能在同一平台上配套多个沉积腔室，保证同一腔室内只沉积一种金属，避免相互污染，国内其他厂商无法实现该功能。因此，采用单一来源方式采购该设备。

三、拟定唯一供应商名称：****

四、资格要求：

1.具有本项目生产、制造、供应或实施能力，符合、承认并承诺履行本文件各项规定的供应商均可参加投标。

2.遵守有关的国家法律、法规和条例，具备《****政府采购法》和本文件中规定的条件：

1)具有独立承担民事责任的能力；

2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

4)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

5****政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

3.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参****政府采购活动；

4.本次采购不接受联合体报价。

五、获取采购文件：

登录****采购网（http://www.****.cn/）进行供应商注册，****中心审核通过后，再次登录系统在线提交获取采购文件申请，审核成功后自助下载采购文件。

六、开标时间：2023年12月13日8点45分。

七、投标流程：

本项目采用电子招投标方式采购。投标供应商必须按相关程序办理数字证书和安装投标文件工具后方可上传递交投标响应文件。详细操作说明见****采购网（www.****.cn）--资料下载--****电子投标指南文件。

八、发布公告媒介

本****政府采购网和****采购网上发布。

九、公告时间：

自本公告发布之日起五个工作日。

十、联系方式

采购人：****

采购机构：****

通讯地址：**省**市山大南路27号****

邮政编码： 250100

联系电话： 0531--****3689

****

2023年12月6日

附件：技术条款 .docx