一、项目信息

采购人：****

项目名称：****半自动12英寸探针台采购项目

拟采购的货物或服务的说明：****拟采购一台半自动12英寸探针台

拟采购的货物或服务的预算金额：150万元

采用单一来源采购方式的原因及说明：此次拟采购的的半自动12英寸探针台参数需满足以下要求：1. 漏电流测试时机台本身漏电在100 V时小于10 pA；电容测试时系统能有效屏蔽1kHz ~ 1 MHz 的噪声; 电流精度好于10 pA, 电容精度好于0.01 pF，均满足测试要求。2. 半自动12英寸探针台可提供高低温测试条件。高低温系统-60~300 摄氏度，温度精准度+-1摄氏度，温度分辨率+-0.1摄氏度。3. 半自动12英寸探针台的工作台在XYZ以及角度方向均可调节。XYZ移动精度：<0.05 微米，<0.05微米，< 1微米，角度范围：+-5度， 定位精度<0.005度。显微镜XYZ行程：50 mm,50 mm, 90 mm, 定位精度<4 微米， 分辨率1.5微米。4. 支持通过编写程序优化测试流程，可实现高效率的晶圆级的芯片电学特性测试。

拟采购的半自动12英寸探针台是一个高度集成的自动化测试平台，且出厂前均经过持久性测试，工作稳定。****公司具备自主产权的 futureC探针台控制软件系统，可以联合源表与探针台系统通过编程定制出高效率的自动化测试流程。经过综合对比，只有********实验室大批量高效率的测试需求。因此申请采用单一****公司采购这款半自动12英寸探针台。

二、拟定供应商信息

名称：****

地址：中国（**）自由贸易试****工业园区金鸡湖大道99号**纳米**北区9幢202室

三、公示期限

公示期限：5个工作日（2023年12月6日-2023年12月13日）；任何供应商、单位或个人对本采购项目有异议的，可以在公示期内以书面形式向****反映。

四、联系方式

1.采购人：****

联 系 人：宣老师

联系地址：**市**路96号

联系电话：0551-****2706

邮箱：xuanzj@ustc.****.cn

2.采购代理机构：****

联 系 人：刘志凌、魏思宇

联系地址：**省**市**大道236号

联系电话：0551-****0264、****0268、152****7650

五、附件

专业人员论证意见表