1. 招标范围
1.1货物名称：氧化炉。
1.2招标编号：077*
1.3主要功能要求：用于8英寸半导体集成电路硅片制造流程中垫层氧化层、牺牲氧化层、退火等工艺。主要由装载区、炉体、操作控制模块、气源柜、厂务动力模块等部件组成。
1.4数量：1台。
1.5 交货期：合同生效后6个月。
1.6 项目现场：**市**区西永大道23号********研究所项目现场。
2. 对投标人的资格要求
2.1投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。
2.2产品业绩要求：投标人提供本次投标同型号或同系列的设备从2020年至今的任意一年的销售业绩，且一年中累计销售量至少5台；须提供设备采购合同复印件，其内容须体现合同首页及签字或盖章页、合同签订时间、合同标的物、制造商名称及其型号。
2.3本次招标接受代理商投标，投标人如果为代理商，必须获得制造商的合法授权，提供授权书。
2.4本次招标不接受联合体投标。
2.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。
3. 招标文件获取
3.1凡有意参加投标者，请于2024年1月10日至2024年1月17日17时(**时间)，( 请登录 )下载招标文件*。
3.2 招标文件每套售价人民币800元，售后不退。
4. 投标文件的递交
4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2024年2月1日9时30分*。

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