PECVD 系统(带滑轨)管式炉采购
采购结果详细( ****)---- ****
申购单主题: | PECVD 系统(带滑轨)管式炉采购 | 申购单位: | ****研究所 | ||||
申购备注: | 中标商必须开具增值税专用发票 |
设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
PECVD 系统(带滑轨)管式炉采购 | 不指定品牌 | 不指定型号 | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
规格 | 1:▲ 电源:AC220V/50HZ ﹒ 功率:3.0KW ﹒ 加热区长度:200mm ﹒ 最高温度:1200 度(≤30min) ﹒ 工作温度:1100 度 ﹒ 热电偶:K 型 ﹒ 智能化仪表,PID 控制,30 段程序控温 ﹒ 炉体可滑动位移:600mm ﹒ 炉管尺寸: φ60*1400mm 2:▲射频电源﹒功率输出范围:0-500W ﹒功率稳定度:≤±5W ﹒射频频率:13.56MHZ ﹒自动匹配 ﹒噪音:≤50dB ﹒冷却方式:风冷 3* ﹒标配一套不锈钢真空法兰 ﹒进气端法兰上安装了一个机械压力表用于观察炉管内的压力,压力表范围-0.1-0.15MPa;一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用,并通过一个不锈钢针阀控制进气的通断;﹒出气端法兰包含一个φ8mm**气嘴的出气口,并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断。一个KF25接口为抽真空接口,用于连接真空系统。一个KF16的接口用于连接电阻真空计。 4▲真空系统● 208-240VAC, 单相, 50/60Hz,压力恒定控制系统 5● 配置恒定控制系统,其范围(进气气氛为氩气): 760mtor(r 100Pa)-----225tor(r 30000Pa)(按照进气量为 500sccm); 600mtorr(80Pa)-----200torr(26660Pa)(按照进气量为 300sccm) 300mtorr(40Pa)-----185torr(24660Pa)(按照进气量为 100sccm) 180mtorr(24Pa)-----100torr(13333Pa)(按照进气量为 50sccm7 6、 压力恒定控制精度:180mtorr-----2.5torr(±%10)>2.5torr-----10torr(±%40) >10 torr------200torr(±%5) 7、4路供气系统,量程为甲烷 20 氢气 200 氩气 1000,备用的用氮气调500氮气标定精度:±1.5%FS;线性:±(0.5~1.5)%F.S. 重复精度:±0.2%F.S 8、*尾气过滤系统,干湿处理,气管不少5米 质保期 一年质保期,终身维护,售后服务:有专业安装培训工程师,中标后3天内供货,24小时内上门安装培训;质保期1年;供货商出具厂家盖章售后承诺函; 配置:高温炉1台;测温偶1根;炉管1根;高温手套1副;管堵4个;内六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;法兰Φ60 1套 ,硅胶密封圈 内径Φ53,8个;炉管护套1副;法兰Φ60一套 ,质子系统1台;恒压控制系统 1台;说明书1本。 | ||||||
中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
**** | 227500 | 最低价原则 |
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