深圳大学高真空电子束蒸发薄膜制备设备意向公开
(略)意向公开
采购单位: | (略) |
项目名称: | (略) |
预算金额(元): | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况: | 用于4英寸样品的高真空电子束蒸发薄膜制备,主要组件与参数如下:6 kW(略),含6坩埚靶位,带电子束束斑扫描控制器;主工艺腔高度≥ 800 mm,带全量程真空计,真空系统采用前级干泵 涡轮分子泵配置,极限真空≤ 7.5×10-8 Torr;石英(略),镀率厚度分辨率≤ 0.015 /s;4英寸(略),带循环水冷;配备Load-lock进样仓,满足4英寸样品进样,带全量程真空计,真空系统采用前级干泵 涡轮分子泵配置,极限(略).5×(略)Torr;(略),用于真空系统和电子束蒸发系统的参数监测和控制。 |
联系人: | (略) |
联系电话: | (略) |
预计采购时间: | (略) |
备注: | 无 |
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