（编号：QWQTJY24003）复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目中标公告
一、项目编号：****
二、项目名称：****宽禁带半导****研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目
三、中标（成交）信息
1.中标结果：
| 1 | 投标报价：****000（元） | **** | 北****开发区**大道8号 |
| 2 | 投标报价：****000（元） | ******公司 | ****开发区辽**路8号 |
| 3 | 投标报价：480000（元） | **聚****公司 | 山****开发区荣利街1789号 |
| 4 | 投标报价：338000（元） | **中****公司 | 北****开发区泰河三街1号1号楼310室 |
| 6 | 投标报价：610000（元） | ******公司 | **省**市**区珠江路97号 |
| 7 | 投标报价：550000（元） | ****公司 | **省**市柯**航埠镇育尚路68号12幢501室 |
| 8 | 投标报价：****4500（元） | ******公司 | **市**区宣春路182号7幢一层 |
| 9 | 投标报价：****000（元） | **聚****公司 | 山****开发区荣利街1789号 |
2.废标结果:
| 序号 | 标项名称 | 废标理由 | 其他事项 |
| 5 | 尾气处理Scrubber等仪器设备 | 标项5投标供应商数量不符合要求,系统自动废标 |
四、主要标的信息
货物类主要标的信息：
| 序号 | 标项名称 | 标的名称 | 品牌 | 数量 | 单价(元) | 规格型号 |
| 1 | SiC刻蚀 | SiC 刻蚀 | **NAURA | 1台 | ****000 | GDE C200 |
| 2 | 干法铝刻蚀 | 干法铝刻蚀 | ****鲁汶仪器 | 1台 | ****000 | HeverleeR PishowR M |
| 3 | 聚酰亚胺烘烤 | 聚酰亚胺烘烤 | **聚智 | 1台 | 480000 | JZ-100 |
| 4 | 揭膜机等仪器设备 | 揭膜机 | **中电科 | 1台 | 38000 | MDT-10J |
| 5 | 揭膜机等仪器设备 | 贴膜机（减薄前） | **中电科 | 1台 | 150000 | STM-100 |
| 6 | 揭膜机等仪器设备 | 贴膜机（划片保护） | **中电科 | 1台 | 150000 | SWM-100 |
| 7 | 电阻率测试仪 | 电阻率测试仪 | **卓海 | 1台 | 610000 | ZH-PR8 |
| 8 | 应力检测设备 | 应力检测设备 | **速普 | 1台 | 550000 | FST5000 |
| 9 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀 | 美国 LAM | 2台 | ****000 | Lam Rainbow4520 |
| 10 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备 | 干法去胶机 | 美国 Gasonics | 2台 | 829500 | A1000 |
| 11 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备 | 金属溅射 | 美国 MRC | 1台 | ****000 | Eclipse Mark IV |
| 12 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备 | 光学膜厚量测 | 美国 Nanometrics | 2台 | 497750 | NANOSPEC6100 |
| 13 | 金相显微镜 | 金相显微镜 | 日本尼康 | 8台 | 373750 | optiphot |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
陈大果，施立钦，林型晓（采购人代表），王旭，罗锋，潘志崇，曹玲娟（采购人代表）
六、代理服务收费标准及金额：
1.代理服务收费标准：按招标文件收费标准
2.代理服务收费金额（元）：244548
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其他补充事宜
具体服务要求详见招标文件
九、对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系
1.采购人信息
名称：****
地址：**前湾新区**二路901****广场C1栋
传真：/
项目联系人（询问）：高老师
项目联系方式（询问）：0574-****0318
质疑联系人：陈老师
质疑联系方式：0574-****0316
2.采购代理机构信息
名称：****
地址：**市**区环**路西段207弄19****中心1号楼七、八楼
传真：/
项目联系人（询问）：陈洁、邓牟雪
项目联系方式（询问）：0574-****7605
质疑联系人：姜春辉
质疑联系方式：0574-****8579
3.****管理部门
名称：宁****信息化局
地址：**前湾新区兴慈一路1号
传真：/
联系人：杨老师
监督投诉电话：0574-****0280
附件信息：
1.6M
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