功率半导体6英寸晶圆及器件封测生产线建设项目
功率半导体6英寸晶圆及器件封测生产线建设项目 | 项目代码 **** | |
改扩建 | 环评文件类型 报告表 | |
版本:2018 | 行业类别(国民经济代码) C3972-半导体分立器件制造 | |
082-电子器件制造 | ||
污染影响类 | 工程性质 非线性 | |
****苏通科技产业园******园区**路 6 号 | ||
**** | 环评审批文号 通苏锡通环复(表)〔2021〕32号 | |
2021-12-30 | ||
913********159305G001Y | 排污许可批准时间 2023-09-04 | |
51249 | 项目实际环保投资(万元) 470 | |
****公司 | 验收监测(调查)报告编制机构社会信用代码(或组织机构代码) 913********159305G | |
****公司 | 运营单位社会统一信用代码(或组织机构代码) 913********159305G | |
******公司 | 验收监测单位统一社会信用代码(或组织机构代码) 913********973629H | |
2023-09-30 | 验收监测时工况 无 | |
2023-10-01 | 调试结束时间 2023-12-01 | |
2024-01-02 | 验收报告公开结束时间 2024-01-22 | |
网站 https://www.****.com/gs/detail/2?id=40102WKpZx | 自验信息提交时间 2024-02-07 |
表1 水污染治理设施
1 | 雨水经雨水管网收集后排入市政雨水管网,生活污水经化粪池预处理、食堂废水经隔油池预处理后与生产废水一并****开发区****公司进行处理。 项目生****处理站处理。 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)中表1标准,其中锡参照执行《污水综合排放标准》(DB31199-2018)中表1标准 | 雨水经雨水管网收集后排入市政雨水管网,生活污水经化粪池预处理、食堂废水经隔油池预处理后与生产废水一并****开发区****公司进行处理。 项目生****处理站处理。 | 对总排口废水中pH值、氨氮、化学需氧量、悬浮物、总氮、总磷、石油类、铜、氟化物、阴离子表面活性剂进行监测,车间排口锡进行监测 | 达标 |
表2 大气污染治理设施
1 | 项目特殊化学品根据生产需要贮存于甲类仓库内,储存过程中,易挥发有机废气抽取至活性炭处理达标后由DA018排气筒排放。危废仓库产生的有机废气经活性炭处理后由DA018排气筒排放。 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)、《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) | 项目特殊化学品根据生产需要贮存于甲类仓库内,储存过程中,易挥发有机废气抽取至活性炭处理达标后由DA018排气筒排放。危废仓库产生的有机废气经活性炭处理后由DA018排气筒排放。 | 对DA018中非甲烷总烃进行监测 | 达标 |
1 | 项目对污水站产生废气的处理单元采用封闭式加盖措施并采取碱喷淋的方式处理后经DA017排气筒排放 | 《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) | 项目对污水站产生废气的处理单元采用封闭式加盖措施并采取碱喷淋的方式处理后经DA017排气筒排放 | 对DA017中氨气、硫化氢进行监测 | 达标 |
1 | 锅炉燃烧废气经DA016排气筒排放 | 《锅炉大气污染物排放标准》(DB 32/4385-2022) | 锅炉燃烧废气经DA016排气筒排放 | 对DA016中SO2、NOx、颗粒物进行监测 | 达标 |
1 | 主生产车间有机废气采用转轮浓缩燃烧处理,配套一根32m高DA013排气筒。 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)、《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)、 | 主生产车间有机废气采用转轮浓缩燃烧处理,配套一根32m高DA013排气筒。 | 对DA013中非甲烷总烃、SO2、NOx、颗粒物进行监测 | 达标 |
1 | 项目芯片制造生产线清洗、腐蚀、光刻沟槽等工序产生的酸碱废气经吸风装置收集后经二级碱液喷淋净化后由39m的排气筒DA011、DA012达标排放。 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)、《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)、 | 项目芯片制造生产线清洗、腐蚀、光刻沟槽等工序产生的酸碱废气经吸风装置收集后经二级碱液喷淋净化后由39m的排气筒DA011、DA012达标排放。 | 对DA011 氟化物、氯化氢、氨气、硫酸雾、氮氧化物,DA012 氟化物、硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气进行监测 | 达标 |
表3 噪声治理设施
1 | 合理布局,选用低噪声、低振动设备,采取有效的减振、隔声、消声等降噪措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准。 | 达标 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
1 | 是 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
1 | 是 |
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