大面积表面高能涂层及扫描系统
(略)2023年12月政府采购意向-(略) 详细情况
2024年02月18日 16:(略)
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项目所在采购意向: | (略)2023年12月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购(略): | (略) |
预算金额: | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况 : | (略) 主要技术指标: 1. 均匀有效涂层空间:直径300mm,高度100mm; 2. 配置250口径磁悬浮涡轮分子泵1套,抽速不小于2000L/S; 3. 配置弯管磁过滤阴极电弧2套,靶材直径100mm; 4. 配置射频5英寸圆形磁控溅射靶1套,功率1000W, 13.56MHz; 5. 配置高功率脉冲5英寸圆形磁控溅射靶1套,功率6KW,峰值电流750A; 6. 配置直流5英寸磁控溅射靶2套,功率3KW; 7. 配置阳极层离子源1套,功率5KW; 8. 加热温度最高可达500℃; |
预计采购时间: | (略) |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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