南方海洋科学与工程广东省实验室(珠海)桌面原子层沉积机采购项目
****(**)桌面原子层沉积机采购项目
发布时间: 2024-02-20 08:58
项目概况
项目编号 | **** | ||
项目名称 | ****(**)桌面原子层沉积机采购项目 | ||
申购主题 | 桌面原子层沉积机 | ||
项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
采购开始时间 | 2024-02-20 08:58 | 采购结束时间 | 2024-02-26 09:00 |
采购单位 | ****(**) | ||
经办人 | 沈老师 | 经办人电话 | 186****1497 |
期望收货时间 | 合同签订后3天交货 | ||
是否送货 | 是 | 送货地址 | **大学**校区海琴4号楼D401 |
电子签章 | 无需使用 | ||
备注 | 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价或外币价,****公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3. 外贸进口有关的一切费用(包括但不限于外贸代理费用、清关费用、银行手续费、海关监管手续费、报关费用、商检费用、申办机电批文费用、机场码头费等)。”均由中标方承担,需含在投标总价中。其中,“外贸代理费用”(红字部分****公司(**中****公司)代理手续费,****实验室与**中****公司签订的协议执行,中标方收费标准请见附件;其他费用在实际过程中产生,按附件表格标准收取。 |
采购明细
1采购设备 | 桌面原子层沉积机 |
数量 | 1台 |
参考品牌 |
技术要求
1 | 设备整体尺寸≤550mmx450mmx450mm | 非常重要 | 是 |
2 | 工艺温度:正常室温到200℃之间可调 | 重要 | 是 |
3 | 成膜不均匀性:lt;1%(氧化铝); | 重要 | 是 |
4 | 前驱体源:配备不少于3个单管式50ml 前驱体源,一条清扫气线; | 重要 | 是 |
5 | 源瓶配备不少于3个单管式50ml前驱体源,含3个手阀; | 重要 | 是 |
6 | 源瓶加热器配备 不少于1 个 180℃单管加热器,精度:180±1 °C | 重要 | 是 |
7 | 进样室采用抽屉式样品装载样品,可装载4寸晶圆片; | 非常重要 | 是 |
8 | 腔体需为真空腔体,200℃高温腔体,温度控制精度 200 ±1 °C; | 非常重要 | 是 |
9 | 设备包括多组毫秒级 ALD 阀门,响应时间≤5ms,ALD 阀组采用紧凑式面板安装,氧化源管路采用双ALD阀门设计 | 非常重要 | 是 |
10 | 阀组采用自动化加热,最高加热温度 ≥180 °C; | 非常重要 | 是 |
11 | 气体质量流量计: 1 个精确的载气流量控制,氩/氮气最大量程 200sccm; | 重要 | 是 |
12 | 真空规:薄膜真空规,实时显示工艺压力,标准 10torr 电容薄膜 | 重要 | 是 |
13 | 真空泵抽速:12m3/H 进口油泵,含泵前段返油过滤器,泵后端油雾过滤器,反应腔抽真空时间≤10S | 非常重要 | 是 |
14 | 设备极限真空度≤50mtorr | 重要 | 是 |
15 | 需配备腔体衬板,提高腔体使用寿命,便于维护清洗,减少 particle 脱落 | 非常重要 | 是 |
16 | 配备专业的 ALD 泵前级过滤器,保护真空泵 | 重要 | 是 |
17 | 需配备一体式工控机≥10.1 寸,带触摸功能; | 重要 | 是 |
18 | 软件基本功能:行业标准多个 GUI 界面,用于自动和手动操作,系统监视器,报警和配方编辑,工艺菜单编辑功能,简易工步预设格式,多工艺菜单存储功能; | 重要 | 是 |
19 | 报警及安全控制 :配备温度,压力,气体流量,源串扰,卸载,电气和气动控制异常报警系统 | 重要 | 是 |
20 | 可集成最高浓度 10%臭氧发生器模块,替代水工艺; | 重要 | 是 |
资质要求
1 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”(需按授权书要求签字并加盖公章) | 是 |
2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”(需签字并盖公盖章) | 是 |
3 | 第5条资质参数 | 符合性参数 | 供应商信用-投标供应商需提供在信用中国或其他权**用查询网站的信用报告;报告中需写明供应商的经营许可范围;若未写明经营许可范围;需再提供佐证材料 | 是 |
4 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
5 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”(需签字并盖公章) | 是 |
商务要求
1 | 产品销售渠道(要求上传“制造厂商出具的授权函”) | 厂家(生产商)直接销售(出具厂家声明格式自拟) 厂家(生产商)长期授权销售(授权书中连续有效期不少于一年) 其他授权销售方式 | 是 |
2 | 免费保修年限 | 5年及以上 4年 3年 2年 | 是 |
3 | 合同履约 | 该项目对应的付****实验室合同范本执行;下载地址:http://www.****.com:8089/attachment/template/SMS/htmb.zip | 否 |
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