备件采购
甩干机控制器 件 1 1/4VCR垫片 件 300 susceptor(6寸SIO2) 个 4 6寸前置承片盘弹簧 个 300 行星轴衬套 个 20 Assembly,Brake,RF GAP 个 1 视窗 个 6 滚轮 个 30 去胶腔内门门封 个 2 J型热偶 个 10 手臂(6寸) 个 1 真空吸嘴 个 100 卤素灯 件 10 ISO阀 O-RING 个 2 ISO阀 O-RING 个 2 E-SHOWER绝缘件 件 5 sus below 个 2 lift below 个 2 6004轴承 个 6 行星轴 个 20 行星轴 个 10 液位传感器 SWICTH 789-002 个 3 LSA激光管 件 1 320钼磨轮 个 1 Filament / Repeller Insulator 绝缘子(大) 个 30 V2 前石墨 个 4 石英桶 件 6 Z轴马达驱动 个 1 MARK8过滤芯 个 8 NCS支架 套 1 舟板 个 2 susceptor(6寸SIN) 个 2 susceptor(6寸SIO2) 个 4 去离子罐-0190-34100 件 2 吸附片 个 12 600钼BRESSER BOARD 件 10 1/4气动阀门 件 4 锁刀片nut(硬刀) 个 5
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