二维半导体MOCVD设备
****2024年9至12月政府采购意向-二维半导体MOCVD设备 详细情况
二维半导体MOCVD设备 | |
项目所在采购意向: | ****2024年9至12月政府采购意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 二维半导体MOCVD设备 |
预算金额: | 2000.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****0300-电子工业生产设备 |
采购需求概况 : | 采购八英寸晶圆级二维材料金属有机化学气相沉积设备1台,具备绝缘衬底上(蓝宝石、二氧化硅)生长 8 英寸晶圆级二维半导体材料(主要是过渡金属硫化物)及其异质结的工艺能力,且尺寸可向下兼容;生长出的材料均匀度 >99%, 缺陷密度 <1*1013 cm-2,单一晶畴取向,可重复性高;设备配备两个腔室淋浴喷头,无腔室前预反应;具备多温区加热和旋转,加热范围 300-1400 摄氏度。****中心没有这类设备,无法满足项目的研制需求,故需要专门配置购置。 |
预计采购时间: | 2024-09 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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