流量计 个 1 通水轴 个 1 腔盖 件 1 热偶 件 11 INPUT PCB 件 1 水过滤芯(0.1μm) 个 2 水过滤芯(0.5μm) 个 2 空气滤芯 个 2 6寸炉体 个 1 主控制器 件 2 马达 个 2 石英捅 件 12 AMU入口处石墨 个 2 AMU入口内衬石墨 个 2 AMU内防护石墨 个 2 AMU出口处石墨 个 2 AMU出口外衬石墨 个 2 AMU出口内衬石墨 个 2 石墨件 个 1 insulator faraday flag 个 2 线缆 件 2 石墨件 个 2 石墨件 个 2 石墨件 个 2 石墨件 个 2 石墨件 个 2 OUTPUT PCB 个 1 N2单向阀 个 1 气动阀 个 1 钨舟套装 个 30 6寸前置承片盘弹簧 个 200 ORING 件 10 ORING 个 2 O-RING 只 2 O-RING 件 10 气缸 件 1 抗射频干扰接线柱(二手) 个 1 5寸背装行星盘裸盘 个 1 O-Ring,Silicone,Chamber,Upper,Outer 件 5 Assembly,Magnetron(JW) 件 1 气缸 件 1 内门阀 个 1 真空计 个 1 光敏发射管 件 5 光敏接收管 件 5 灯丝 件 100 灯丝绝缘柱(钼螺钉) 件 100 放电枪绝缘柱/氮化硼 个 100 双边绝缘柱 件 100 高频磁控管 件 1 MJ15003 件 10 热偶规 件 20 O-Ring,Viton 5.750 ID 125C/SP 件 2 滑动密封氟塑料圈 件 2 6寸focus ring(Ring, FAC, 6", ESC, GD R, Semi) 个 1 支架 个 1 波纹管 件 2 UPS电池 个 2 电池 个 2 离子规 件 1 离子规 件 1
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