半导体IMP制程相关设备部件的精密洗净再生项目
半导体IMP制程相关设备部件的精密洗净再生项目 | 项目代码 **** | |
改扩建 | 环评文件类型 报告表 | |
版本:2021 | 行业类别(国民经济代码) C4330-专用设备修理 | |
086-金属制品修理;通用设备修理;专用设备修理;铁路、船舶、航空航**运输设备修理;电气设备修理;仪器仪表修理;其他机械和设备修理业 | ||
污染影响类 | 工程性质 非线性 | |
****经济开发区支一路以东、**路以南、矶山路以北 | ||
****环境局 | 环评审批文号 芜环行审〔2023〕92号 | |
2023-04-21 | ||
****0200MA2U****19001Q | 排污许可批准时间 2024-02-01 | |
8150 | 项目实际环保投资(万元) 146 | |
**** | 验收监测(调查)报告编制机构社会信用代码(或组织机构代码) ****0200MA2U845719 | |
**** | 运营单位社会统一信用代码(或组织机构代码) ****0200MA2U845719 | |
**尚德谱****公司 | 验收监测单位统一社会信用代码(或组织机构代码) ****0100MA2RT7Q165 | |
2023-12-20 | 验收监测时工况 无 | |
2023-12-20 | 调试结束时间 2023-12-30 | |
2024-02-26 | 验收报告公开结束时间 2024-03-25 | |
网站 https://www.****.com/gs/detail/2?id=40226EO6Q7 | 自验信息提交时间 2024-03-25 |
表1 水污染治理设施
1 | 综合废水处理设施 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准、《****处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)中表2部分一类污染物最高允许排放浓度限值 | 本项目含砷废水经车间含砷废水预处理装置处理后进入综合废水处理系统 | 验收监测期间,厂区废水总排口pH值、COD、BOD5、SS、氨氮的浓度均满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准限值要求,总砷满足《****处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)中表2部分一类污染物最高允许排放浓度限值要求(总砷≤0.1mg/L) | 达标 |
1 | 含砷废水预处理装置 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表1中第一类污染物排放标准 | 本项目在IMP再生操作间内设置含砷废水预处理装置,设计处理能力为2.5t/d | 验收监测期间,车间含砷废水预处理装置总砷浓度满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表1中第一类污染物排放标准限值要求(总砷≤0.5mg/L) | 达标 |
表2 大气污染治理设施
1 | 旋风除尘+覆膜滤袋除尘器 | 大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级标准、**市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表1大气污染物项目排放限值 | 喷砂废气经设备密闭+集气管道收集后经1套旋风除尘+覆膜滤袋除尘器处理后于1根15m排气筒排放 | 验收监测期间,喷砂废气排气筒颗粒物排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级标准限值要求,砷及其化合物排放排放浓度和排放速率满足**市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表1大气污染物项目排放限值要求 | 达标 |
表3 噪声治理设施
1 | / | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准 | 达标 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
1 | 是 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
1 | 是 |
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