D栋晶圆制备废气处理设施改扩建项目
建设项目环境影响登记表
填表日期：2024-04-07
| 项目名称 | D栋晶圆制备废气处理设施改扩建项目 | ||
| 建设地点 | **省**市**市保税区**路7号 | 占地面积 （平方米） | 50 |
| 建设单位 | **** | 法定代表人 | 薛松生 |
| 联系人 | 冯创 | 联系电话 | 199****8831 |
| 项目投资(万元) | 50 | 环保投资(万元) | 50 |
| 拟投入生产运营日期 | 2024-04-08 | ||
| 建设性质 | 改建 | ||
| 备案依据 | 该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第100 脱硫、脱硝、除尘、VOCs治理等大气污染治理工程项中全部。 | ||
| 建设内容及规模 | 因现有生产车间场地限制，将晶圆制备部分设备搬迁至D栋厂房一层，涉及到设备包括氧化炉、真空溅射镀膜机、激光打标机、匀胶显影机、光刻机（曝光）、光刻胶灰化机、去胶剂机、剥离机、等离子体刻蚀机（具有刻蚀和去胶功能）、化学气相沉积、电镀机、湿法刻蚀机、CMP抛光机、激光退火炉、退火炉、AOI测试仪、芯片特性测试仪等。D栋的晶圆制备废气涉及两套废气处理设备，有机废气是依托封装的过滤网 ****装备处理后经19米高排气筒排放，刻蚀段废气经等离子****设备处理后经过25米排气筒排放。 | ||
| 主要环境影响 | 采取的环保措施及排放去向 | ||
| 废气 | 有环保措施: 有机废气采取过滤网 活性炭措施后通过19米高排气筒排放至大气 有环保措施: 刻蚀段废气采取等离子燃烧后进入碱喷淋措施后通过25米高排气筒排放至大气 | ||
| 固废 | 环保措施: 废滤网、废活性炭等危废委托有资质单位处置 | ||
| 噪声 | 有环保措施: 合理布局，隔声降噪 | ||
| 承诺：**** 薛松生承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由 ****， 薛松生 承担全部责任。 | |||
| 备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：202********0000101。 | |||
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