申购单主题：

高性能旋涂系统

申购单位：

****学院

报价类型：

国内含税价

使用币种：

人民币

公示时间：

2024-04-17 09:59:27

申购备注：

商品名称

品牌厂商

型号

数量

售后服务

高性能旋涂系统

****研究所

KW-4T

1

规格

转速：250-9000 RPM

转速稳定性：1RPM

旋涂均匀性：（一致性） ＜1%（片内）；＜1%（片间）

基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圆片，最大 100mm×100mm 方片

显示/程序控制：全触摸屏操作，快速启动，人性化界面。6 步工艺调速设计，0-1800s 时间可调，专业用户最适合的的需求

整机尺寸：（mm3） 280×220×160

工艺支持：依托中科院微电子所工艺平台，提供全方位微纳加工工艺支持

适应材料/工艺支持 ：适合硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等各种材料，工艺服务

特殊夹具定制：20 年特殊夹具设计经验，完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品

电机功率：40W

抽气速率：＞60L/min

质量保证：中科院微电子所独家设计制造，通过 ISO9000 质量体系认证