AFMSEM同步系统无掩膜深刻检测系统中电流离子注入设备光学平台
****2024年5至7月政府采购意向-AFMSEM同步系统无掩膜深刻检测系统中电流离子注入设备光学平台 详细情况
AFMSEM同步系统无掩膜深刻检测系统中电流离子注入设备光学平台 | |
项目所在采购意向: | ****2024年5至7月政府采购意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | AFMSEM同步系统无掩膜深刻检测系统中电流离子注入设备光学平台 |
预算金额: | 3867.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****9900其他仪器仪表 |
采购需求概况 : | 1/拟新增一套多功能AFM+SEM原位同步联用系统,用于微纳加工、芯片制造、新能源材料样品的高精度综合表征。2/拟新增一套无掩膜深硅刻蚀检测一体化系统,可在刻蚀后实时测量刻蚀结果表面形貌和力学特性。3/拟新增一套中电流离子注入设备,用于掺杂工艺,可以满足浅结、低温和精确控制等要求。4/拟新增精密气浮摆杆隔振、主动隔振、主动隔振(前馈系统)光学平台各一台,将满足我校多个学科范围内光学实验测量和高精密探测需求。 |
预计采购时间: | 2024-05 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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