感应耦合等离子体刻蚀机
****2024年5至12月政府采购意向-感应耦合等离子体刻蚀机 详细情况
感应耦合等离子体刻蚀机 | |
项目所在采购意向: | ****2024年5至12月政府采购意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 感应耦合等离子体刻蚀机 |
预算金额: | 120.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****0300-电子工业生产设备 |
采购需求概况 : | 拟购置的设备是刻蚀石墨烯、氮化硼等低维半导体材料的必备设备。感应耦合等离子体刻蚀技术是利用等离子体进行薄膜微细加工的技术,由于具有良好的各向异性和工艺可控性已被广泛应用于半导体基础产品制造领域。 |
预计采购时间: | 2024-05 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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