东南大学 - 竞价公告(CB102862024000517)
东南大学 - 竞价公告(CB(略))
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(略) | 1.0/台 | 1、 镀膜室内净尺寸: L440×W400×H450;方箱式,前门旋转往右打开式,304优质不锈钢制造; 2、 真空系统:采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统;机械泵抽速:不小于9L/S;分子泵抽速:不下小于:1300L/S; 3、 真空极限:8.0×10-5Pa(空载,经烘烤除气后); 4、 圆形基片台结构,可承载最大120×120mm 基片;;基片旋转:0~30转/分钟;加热:室温~500±1℃,可控可调,日本岛电PID智能温控闭环控温; 5、 磁控溅射靶源:3只3英寸圆形平面靶; 6、 基片台配有偏压清洗功能,并配有直流脉冲偏压电源; 7、 3台磁控溅射电源; 8、 配有质量流量控制器三路,供Ar、N2、O2气体使用; 9、 配备有循环水冷机和空气压缩机; 10、 PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统; 11、 报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。 12、设备配备有独立机架及电控柜; | 按行业标准提供服务 |
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