深圳大学 - 竞价公告(CB105902024000464)
深圳大学 - 竞价公告(CB(略))
发布时间:2024-05-09 16:19:40 截止时间:2024-05-16 12:00:00
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(略) | 1.0/套 | (略).0 | 普迪真空 | AL(略) | 1、真空腔室优质 304 不锈钢真空室,尺寸约为 300mm(宽) × 300mm(深) × 380mm(高)最终以实际设计尺寸为准,内外部电抛光处理; 2、高真空泵:脂润滑分子泵;型号:北京中科科仪 150/700,抽速:700L/S; 3、高阀及限流阀:高真空插板阀;可控限流阀,可控制腔室压力; 4、机械泵:鲍斯真空 BSV24 直联旋片式真空泵(单相),抽速:约 6L/S; 5、真空测量:两低一高数显(略)6、电控气动粗抽阀、前级阀,电磁放气阀、充气阀; 7、两路进气,采用 Horiba Metron 流量计控制进气,流量计最大流量分别为200/5sccm,2 路气体经过(略),采用不锈钢电抛光 EP 管及 VCR 接头混(略) 8、1 台 500W 直流电源;1 个凡谷电子自动匹配射频电源,最大输出功率 750W; 9、100*100MM 偏压工件台,转速 0-25RPM 可调节; 10、控制系统采用德国西门子 PLC+德国西门子触摸屏人机界面手自动控制系统,具备完善的安全互锁保护功能;图形可视化操作界面。 | 按行业标准提供服务 |
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