蒸镀联用双工位手套箱(招标公告)
申购单主题: | 蒸镀联用双工位手套箱 | 申购单位: | 柔性电子学院 | 申购人: | 罗佳利 |
报价类型: | 国内含税价 | 使用币种: | 人民币 | 公示时间: | (略)8:21:23 |
申购备注: |
蒸镀联用双工位手套箱 | Univers(略) | Universal((略) | 1 | 3年质保。 | 1、可得气体纯度:水<1ppm,氧<1ppm,泄露率≤0.001vol%/h。包含2种以上的泄露率检测以及自动监控功能。 2、手套箱尺寸:三工位手套箱(6支手)操作,内部尺寸:长×宽×高≥2440×750×900mm,304不锈钢材质。箱体底部配有支架,旋转脚轮,可微调水平,配有用于压力(略)。 3、大、(略),大T型过渡舱直径360mm,长度700mm,小过渡舱(略),长度300mm。大、小过渡舱于箱体的连接方式均为可拆卸式法兰连接,不能(略)。 4、手套口铝合金。 5、循环能力:集成风机流量≥90m3/h,加装变频控制。 6、真空泵(贰台):可手动或通过(略),流量12m3/h,可对过渡舱抽真空,并保持箱体压力平衡,真空泵真空度(略),真空泵配装油雾过滤器和气镇。 7、有机溶剂吸附器,填充2公斤活性炭 8、单柱净化系统,净化材料可再生,且再生过程自动控制,自动除水除氧功能。 ★9、气体控制阀:采用不锈钢材质的电磁集成阀座,六个阀集成控制。 ★10、检测系统(贰套):水分析仪:测量范围:0~500ppm,水探头采用P2O5传感器,可以通过清洗再生程序恢复初始状态,可重复使用,避免了一次污染即报废的问题。氧分析仪:测量范围:0~1000ppm,采用燃料电池传感器,避免溶剂干扰和腐蚀。 ★11、玻璃视窗采用实芯O型密封圈(真空(略))法兰视窗结构,达到无泄漏,实芯O型圈直径不超过8mm,密封槽为方形凹槽,实芯密封圈安装方式为嵌入密封槽内安装,不接受单层或双层空芯密封圈粘贴在支撑面上的密封方式。需要提供证明包括:实物照片、官网宣传页面、结构图加以佐证。 ★12、左侧单独一节小箱体,顶部安装150㎜石英窗口。背后预留6个KF40接口。 13、中间工位预留镀膜机接口,右侧工位预留ALD接口 14、备除手套、净化材料及活性炭等耗材外,整机质保叁年。注:该套仪器为精密设备,主要用于科研,带“★”参数为重点指标,必须满足。 |
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