[BA202400527]等离子体增强化学气相沉积系统备案公示公告(更正)
[****]等离子体增强化学气相沉积系统备案公示公告(更正)
发布时间：2024-05-31 09:10:47
采购信息
| **** | 项目名称等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| 物理学院 | 经办人王鹏 | |
| 200000.00 人民币 | 成交金额196000.00 人民币 | |
| **** | 质保期12 月 | |
| **省-**市-**区远达大街826****广场4栋1208室 | 采购单位 | **** |
| 设备安装调试验收合格办理相关手续后100%付款。 | ||
| 135****4310 | 交货时间成交单签订后30天内交货 | |
| **省-**市-**大街2699号 **大学 超硬实验综合楼 | ||
| 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。 | ||
| 由乙方免费提供及承担 | ||
| 以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 | ||
| 服务响应时间与服务内容： 电话响应时间：1小时 人员到达现场时间：2小时 排除故障时间：48小时 培训方案： 培训次数：1次 培训人员数量：5人 培训地点：**大学 费用：免费 | ||
| 自主评审报告-0530.pdf | ||
明细清单
| 工业电热设备（电炉） | 品牌名称**科晶 | |
| 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统 | 产地及生产商中国-******公司 | |
| OTF-1200X-II-50-PE | 数量1 | |
| 套 | 保修年限1 年 | |
| 196000.00 人民币 | 总价196000.00 人民币 | |
| 主要配置包括：双温区管式炉，真空系统，供气系统，射频电源，手套箱 1. 双温区管式炉 1.1最高温度: 1200℃ 工作温度: 1100℃ 1.2 PID控制和自整定调节功能智能化30段可编程控制 1.3双层壳体结构并带有风冷系统 1.4总温区长度：400 mm 2. 真空系统 2.1真空度：≥ 10-3 torr 2.2抽气速率：3L/s 2.3漏气率≤ 5x10-9 Pam3/s 3. 供气系统 3.1质量流量控制器精度：± 1.5 % FS 3.2流量范围:一路 0-100 sccm，二路 0-200 sccm，三路及四路 0-500 sccm 4. 射频电源 4.1功率输出范围：0-500 W 4.2射频频率：13.56 MHz 5. 手套箱 5.1箱体：SUS304 不锈钢，厚度 3mm 5.2主箱体尺寸：600 x 450 x 420 mm 5.3过度仓尺寸：直径210 x 长260 mm | ||
信息咨询
| 设 备 类：林老师: 0431-****7310 工 程 类：白老师: 0431-****7313 服务及其他货物：李老师: 0431-****7309 |
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