大尺寸YAG系列晶体生产线项目

华北北京天津河北山西内蒙古

华中河南湖北湖南江西

华南广东广西海南

东北吉林辽宁黑龙江

西北陕西甘肃宁夏青海新疆

华东山东安徽上海江苏浙江福建

西南云南贵州四川重庆西藏

大尺寸YAG系列晶体生产线项目

更新时间	2024年06月06日
招标单位	请登录查看
截止时间	请登录查看
关键信息	尺寸晶体生产线
招标文件	请登录查看

还不是会员？马上注册吧！
免费注册咨询此项目

1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
913********76848XQ	张琦
张琦	******开发区
省市**试验园大道77号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

大尺寸YAG系列晶体生产线项目

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	****开发区市**试验园大道77号
经度:117.81408 纬度: 30.97236	市经开区安全生**管理局
	2022-08-26
安环〔2022〕56号	****
	5000
18.5	****
913********76848XQ	****
913********76848XQ	省创怡**公司
****0104MA2RMH6BXU	2023-06-01

2024-04-30	2024-05-29
	http://www.****.cn/detail/81.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产24000支晶体棒	年产8000支晶体棒
阶段性竣工验收

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

①原料项目晶体生长原料为外购的成品块状料，由氧化铝、氧化钕和氧化钇混合压制成块，比例为氧化钇：氧化铝：氧化钕=7：6：0.6，物料的混合压块工序由原料供应厂家完成，本项目厂区内不产生相关污染物。 ②装炉熔化人工将块状料直接放入坩埚内，然后将装有块状料的坩埚放入单晶炉内，关闭单晶炉仓门，对炉内进行抽真空，并充入氮气，生长晶体采用射频加热法，发热器为铱坩埚，射频线圈套在坩埚之外。射频电磁场使铱坩埚产生射频感应电流而发热，加热温度为2070℃ 。同时使用氧化锆和氧化锂对炉体进行保温。项目使用的原料为块状料，装炉过程中无粉尘产生；加热过程中炉内无氧气，无热力型氮氧化物产生。此工序会产生噪声N、废包装材料S11。 ③长晶本项目采用提拉法进行长晶，当原料熔体的温度稳定后（2070℃），由电脑控制将籽晶（籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体，是生长单晶的种子，也叫晶种，项目初始运营时籽晶为企业外购料，待项目正常运营后，籽晶由企业自行利用晶体加工）进入长晶炉并慢慢浸入原料熔体中，在籽晶与熔体妥善接触15~20min以后，籽晶熔化少许和已经熔融的原料达到固液平衡，此时认为熔体的温度合适，可由传动装置开始引拉。控制籽晶转速8~120rpm、提速为1~1.5mm/h，引拉100~140h，从而进行晶体的生长。通过电脑控制籽晶转速和提拉速度从而控制产品直径。此工序无污染物产生。 ④晶体冷却提拉生长结束后，晶棒被升至单晶炉上炉室经循环冷却水对炉体进行间接冷却至室温，项目设置循环水箱一座，尺寸为4m×3.5m×2m ，循环水依次经过冷却塔和冷水机进行降温，总循环量为195m3/h，循环冷却水每三个月排放一次。此工序产生废水W1、设备噪声N。 ⑤检测从炉中取出的晶体，需要使用激光干涉仪进行检查，确认有缺陷的部位并做好标记在头尾之间画出切割线。此工序产生不合格品S6。 ⑥退火经检测合格的晶体需进行一次退火工艺，消除热应力。将大尺寸晶体放入刚玉盘内，泡沫氧化铝保温砖放在退火炉中央，用加垫片的方法调整保温砖上平面高度在炉腔二分之一高度，关闭炉门，开启电源，以每小时100℃升温至1400℃，在1400℃恒温20~25小时，恒温结束后控制电源，以每小时100℃降温，低于200℃后停电自然冷却，八小时后打开炉门冷却到室温，本环节降温不需要利用循环水冷却系统，为自然降温。此工序产生设备噪声N、和废保温材料S7。 ⑦晶体加工本项目晶体加工主要包括切割、打磨、滚圆、抛光，将φ80140mm大尺寸晶体加工成φ8130mmNd：YAG晶体棒。切割：首先使用厌氧胶将长晶体固定在金刚石单线切割机上，然后使用金刚石切割线将其切割成要求的工艺尺寸，切割完成后，采用刀片将凝固后的废胶清理下来，切割方式为带切削液湿式加工。切削液需配水使用，水：切削液为1:2，切削液配置在切割机旁完成，配好的切削液直接加入切割机内，项目切割机自带切削液循环系统，内部装有滤网，对切割过程中产生的残渣进行过滤，切削液每两个月更换一次。此环节产生设备噪声N、废边角料S1、废切削液S3、废胶S4、过滤残渣S5、废金刚石切割线S8、废包装桶S12、废活性炭S13、有机废气G2。打磨：无心磨床使用铸铁磨盘对晶体进行打磨，打磨时添加打磨悬浮液，打磨悬浮液定期更换，打磨悬浮液采用碳化硼粉末与水混合制备，打磨悬浮液在打磨房内配置，配置比例碳化硼：水为1:2，此环节产生设备噪声N、废悬浮液S2、废铸铁磨盘S10、废包装材料S11、配料粉尘G1。滚圆：方磨圆使用铸铁磨盘对晶体进行滚圆，滚圆时添加滚圆悬浮液，滚圆悬浮液定期更换，滚圆悬浮液采用绿碳化硅颗粒和水混合制备，滚圆悬浮液在打磨房内配置，配置比例绿碳化硅颗粒：水为1:2，因绿碳化硅为颗粒状物料，配置过程无粉尘产生。此环节产生设备噪声N、废悬浮液S2、废铸铁磨盘S10、废包装材料S11。抛光：使用四轴抛光机对晶体端面进行抛光，抛光时添加抛光悬浮液，抛光悬浮液定期更换，抛光悬浮液采用氧化铝粉末与水混合制备，抛光悬浮液在抛光房内配置，配置比例氧化铝：水为1:2，此环节产生设备噪声N、废悬浮液S2、废金刚石砂轮S9、废包装材料S11、配料粉尘G1。 ⑧镀膜加工完成的晶体不在厂区清洗，直接运至镀膜厂家进行清洗和镀膜，以增强晶体的透光率，****公司内进行，无产污工序产生。	①原料项目晶体生长原料为外购的成品块状料，由氧化铝、氧化钕和氧化钇混合压制成块，比例为氧化钇：氧化铝：氧化钕=7：6：0.6，物料的混合压块工序由原料供应厂家完成，本项目厂区内不产生相关污染物。 ②装炉熔化人工将块状料直接放入坩埚内，然后将装有块状料的坩埚放入单晶炉内，关闭单晶炉仓门，对炉内进行抽真空，并充入氮气，生长晶体采用射频加热法，发热器为铱坩埚，射频线圈套在坩埚之外。射频电磁场使铱坩埚产生射频感应电流而发热，加热温度为2070℃ 。同时使用氧化锆和氧化锂对炉体进行保温。项目使用的原料为块状料，装炉过程中无粉尘产生；加热过程中炉内无氧气，无热力型氮氧化物产生。此工序会产生噪声N、废包装材料S11。 ③长晶本项目采用提拉法进行长晶，当原料熔体的温度稳定后（2070℃），由电脑控制将籽晶（籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体，是生长单晶的种子，也叫晶种，项目初始运营时籽晶为企业外购料，待项目正常运营后，籽晶由企业自行利用晶体加工）进入长晶炉并慢慢浸入原料熔体中，在籽晶与熔体妥善接触15~20min以后，籽晶熔化少许和已经熔融的原料达到固液平衡，此时认为熔体的温度合适，可由传动装置开始引拉。控制籽晶转速8~120rpm、提速为1~1.5mm/h，引拉100~140h，从而进行晶体的生长。通过电脑控制籽晶转速和提拉速度从而控制产品直径。此工序无污染物产生。 ④晶体冷却提拉生长结束后，晶棒被升至单晶炉上炉室经循环冷却水对炉体进行间接冷却至室温，项目设置循环水箱一座，尺寸为4m×3.5m×2m ，循环水依次经过冷却塔和冷水机进行降温，总循环量为195m3/h，循环冷却水每三个月排放一次。此工序产生废水W1、设备噪声N。 ⑤检测从炉中取出的晶体，需要使用激光干涉仪进行检查，确认有缺陷的部位并做好标记在头尾之间画出切割线。此工序产生不合格品S6。 ⑥退火经检测合格的晶体需进行一次退火工艺，消除热应力。将大尺寸晶体放入刚玉盘内，泡沫氧化铝保温砖放在退火炉中央，用加垫片的方法调整保温砖上平面高度在炉腔二分之一高度，关闭炉门，开启电源，以每小时100℃升温至1400℃，在1400℃恒温20~25小时，恒温结束后控制电源，以每小时100℃降温，低于200℃后停电自然冷却，八小时后打开炉门冷却到室温，本环节降温不需要利用循环水冷却系统，为自然降温。此工序产生设备噪声N、和废保温材料S7。 ⑦晶体加工本项目晶体加工主要包括切割、打磨、滚圆、抛光，将φ80140mm大尺寸晶体加工成φ8130mmNd：YAG晶体棒。切割：首先使用厌氧胶将长晶体固定在金刚石单线切割机上，然后使用金刚石切割线将其切割成要求的工艺尺寸，切割完成后，采用刀片将凝固后的废胶清理下来，切割方式为带切削液湿式加工。切削液需配水使用，水：切削液为1:2，切削液配置在切割机旁完成，配好的切削液直接加入切割机内，项目切割机自带切削液循环系统，内部装有滤网，对切割过程中产生的残渣进行过滤，切削液每两个月更换一次。此环节产生设备噪声N、废边角料S1、废切削液S3、废胶S4、过滤残渣S5、废金刚石切割线S8、废包装桶S12、废活性炭S13、有机废气G2。打磨：无心磨床使用铸铁磨盘对晶体进行打磨，打磨时添加打磨悬浮液，打磨悬浮液定期更换，打磨悬浮液采用碳化硼粉末与水混合制备，打磨悬浮液在打磨房内配置，配置比例碳化硼：水为1:2，此环节产生设备噪声N、废悬浮液S2、废铸铁磨盘S10、废包装材料S11、配料粉尘G1。滚圆：方磨圆使用铸铁磨盘对晶体进行滚圆，滚圆时添加滚圆悬浮液，滚圆悬浮液定期更换，滚圆悬浮液采用绿碳化硅颗粒和水混合制备，滚圆悬浮液在打磨房内配置，配置比例绿碳化硅颗粒：水为1:2，因绿碳化硅为颗粒状物料，配置过程无粉尘产生。此环节产生设备噪声N、废悬浮液S2、废铸铁磨盘S10、废包装材料S11。抛光：使用四轴抛光机对晶体端面进行抛光，抛光时添加抛光悬浮液，抛光悬浮液定期更换，抛光悬浮液采用氧化铝粉末与水混合制备，抛光悬浮液在抛光房内配置，配置比例氧化铝：水为1:2，此环节产生设备噪声N、废悬浮液S2、废金刚石砂轮S9、废包装材料S11、配料粉尘G1。 ⑧镀膜加工完成的晶体不在厂区清洗，直接运至镀膜厂家进行清洗和镀膜，以增强晶体的透光率，****公司内进行，无产污工序产生。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

严格落实废气污染防治措施。项目严禁使用高VOCs含量的原辅材料。切割房需密闭设置，切割等工序产生的有机废气采取集气罩收集，经二级活性炭吸附处理后，通过15米高排气筒排放。非甲烷总烃等污染物排放参照执行市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表1及表3中相关要求。严格落实各项水污染防治措施。按照雨污分流的要求完善给排水系统，并做好现有管网的衔接，严禁污水排入雨水管网。生活污水（化粪池处理）、园区污水处理厂处理，外排废**处理厂接管要求。落实固体废物分类处置，加强固体废弃物环境管理，妥善收集处理各类固体废弃物。过滤残渣、废胶、废切削液、废活性炭、废包装桶等危险废物按照危险废物管理有关要求，委托有资质单位处理。厂内危废暂存场所须符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)及修改单的规定要求，设置危险废物识别标志，并做好防风、防雨、防晒、防流失、防渗漏等工作。废边角料、不合格品、废金刚石切割线、废金刚石砂轮、废铸铁磨盘等一般工业固体废物委托物资单位回收利用。废悬浮液、废保温材料交由厂家回收。生活垃圾委托环卫部门处置。落实噪声污染防治措施。选用低噪声设备，优化厂区平面布置，合理设置高噪声设备。对切割机、抛光机等高噪声设备采取隔声、减振等降噪措施。运营期厂界噪声排放须符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。强化地下水和土壤环境保护措施。按照《报告表》要求，落实分区防渗措施。生产车间、危废暂存库等区域采取重点防渗处理，并定期对防渗层进行维护。	已落实。项目不使用高VOCs含量的原辅材料。切割房密闭设置，切割等工序产生的有机废气采取集气罩收集，经二级活性炭吸附处理后，通过15米高排气筒（DA001）排放。已落实。生活污水化粪池处理后汇**园区污水**处理厂处理。已落实。建设了一般固废库和危废库，对固体废物分类处置。危废库建设符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求；产生的危废均委托有资质的厂家定期处置；废悬浮液、废保温材料交由厂家回收。生活垃圾委托环卫部门处置。已落实。已采取隔声、减振等降噪措施。已落实。生产车间、危废暂存库等区域已做重点防渗处理。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

做好与排污许可证申领的衔接，将批准的环境影响报告表中环境保护措施、污染物排放清单及其他有关内容，按照排污许可技术规范要求，载入排污许可证。报告表中环境保护措施、污染物排放清单及其他有关内容，按照排污许可技术规范要求，载入排污许可证。	已落实。已于2023年6月28日完成排污许可证登记工作，证书有效期5年，登记编号为****。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.0282	0.028	0.028
0	0	0
0	0	0
0	0	0
0	0	0
0	0	0	/
0	0	0	/
0	0	0	/
0	0	0	/
0.0237	0.024	0.024	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

化粪池

《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）电子专用材料间接排放标准并****处理厂接管要求

化粪池

验收监测期间，项目废水总排口pH监测结果为7.0~7.2（无量纲），悬浮物日均浓度最大值为52mg/L，氨氮日均浓度最大值为30.8mg/L，化学需氧量日均浓度最大值为236mg/L，五日生化需氧量日均浓度最大值为84.3mg/L，总磷日均浓度最大值为3.04mg/L

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

集气罩+二级活性炭

《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1大气污染物项目排放限值

集气罩+二级活性炭

验收监测期间，DA001（切割房）有机废气排气筒出口非甲烷总烃最大排放浓度为1.8mg/m3，最大排放速率为0.0164kg/h

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程