浙江六方碳素科技有限公司半导体芯片外延托盘项目

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浙江六方碳素科技有限公司半导体芯片外延托盘项目

更新时间	2024年06月06日
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关键信息	半导体芯片托盘
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0681MA2BDN0H3P	何少龙
李**	省市**市
陶朱街道千禧路9号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

******公司半导体芯片外延托盘项目	****

2021版本:082-通信设备制造；广播电视设备制造；雷达及配套设备制造；非专业视听设备制造；其他电子设备制造	C3990-C3990-其他电子设备制造
	省市**市陶朱街道千禧路9号
经度:120.20401 纬度: 29.75449	****环境局
	2022-12-14
诸环建〔2022〕288号	****0681MA2BDN0H3P004X
	2200
75	****
****0681MA2BDN0H3P	****
****0681MA2BDN0H3P	****公司
****0681MA2D661WXL	2023-02-23
2023-03-01	2023-04-30
2024-04-15	2024-05-15
	https://www.****.com/

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**（三马厂区年产SiC涂层石墨载盘（托盘）1200吨的生产能力）
项目部分先行实施，实施部分在审批范围之内

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产SiC涂层石墨载盘（托盘）3000吨	三马厂区年产SiC涂层石墨载盘（托盘）1200吨
项目部分先行实施，实施部分在审批范围之内

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

切割、机加工、雕刻、清洗、烘干、气相沉积、检测、包装	切割、机加工、雕刻、清洗、烘干、气相沉积、检测、包装
项目部分先行实施，实施部分在审批范围之内

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目按要求建设废水收集处理设施，经处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准后纳管排****处理厂处理排放。3、按要求设置废气收集处理设施，废气排放《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中相关标准等	三马厂区实行雨污分流、清污分流；厂区屋面和道路雨水经厂区现有雨水管道收集后排入市政雨水管网。冷却水经冷却塔冷却后循环利用，定期更换，更换的冷却水由废气喷淋塔再次使用；纯水制备过程会产生浓水和反冲洗水，该部分水由废气喷淋塔作为喷淋水使用；废气喷淋水循环使用，定期更换，更换的废水与清洗废水一起排入厂区废水处理系统，废水经混凝沉淀后部分回用于废气喷淋塔，剩余部分与生活污水（生活污水经厂区内化粪池预处理）一起纳管排放，最后**处理厂处理达到《**处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中一级 A 标准后排放入环境。沉积炉用集气管与设备自带的机台工艺尾气处理设施相连接，通过对沉积炉内的沉积废气进行抽排，抽排的废气先后经过自带的机台工艺尾气处理设施+二级碱喷淋处理后于15米高排气筒排放；沉积完成后需打开盖取件，该过程产生的沉积废气经二级碱喷淋后与沉积炉的抽排废气一起通过15米高排气筒排放。石墨加工废气经各类机加工设备自带的布袋除尘器处理后合并一起通过15米高排气筒排放。污水站进行了加盖处理等
项目三马厂区实施部分与环评基本一致，其余两个厂区未实施

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目在投产排污之前需依法开展排污许可申报工作	项目已依法开展排污许可申报工作
无变动情况

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.0247	0.0257	0.025	0.025
0.012	0.013	0.012	0.012
0.001	0.001	0.001	0.001
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.002	0.002	0.002	0.002	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

废水处理设施

《污水综合排放标准》（GB8978-1996）的表4三级限值、《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）限值

纯水制备过程产生浓水和反冲洗水作为废气喷淋塔喷淋水使用；废气喷淋水循环使用，定期更换，更换的废水与清洗废水一起排入厂区废水处理系统，废水经混凝沉淀后部分回用于废气喷淋塔，剩余部分与生活污水（生活污水经厂区内化粪池预处理）一起纳管排放，最后****处理厂处理达到《****处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中一级 A 标准后排放入环境

废水总排口pH值范围为7.2～7.4、化学需氧量最大日均浓度为34mg/L、氨氮最大日均浓度为3.24mg/L、悬浮物最大日均浓度为31mg/L、石油类最大日均浓度0.45 mg/L、总磷最大日均浓度为0.15mg/L

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

	沉积废气处理设施	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级排放标准	沉积炉用集气管与设备自带的机台工艺尾气处理设施相连接，通过对沉积炉内的沉积废气进行抽排，抽排的废气先后经过自带的机台工艺尾气处理设施+二级碱喷淋处理后于15米高排气筒排放；沉积完成后需打开盖取件，该过程产生的沉积废气经二级碱喷淋后与沉积炉的抽排废气一起通过15米高排气筒排放	沉积废气排气筒出口断面中非甲烷总烃的最大日均排放浓度为2.66 mg/m3，最大日均排放速率为4.14×10-2 kg/h；氯化氢的最大日均排放浓度为5.93 mg/m3，最大日均排放速率为9.23×10-2 kg/h；颗粒物的最大日均排放浓度为1.3 mg/m3，最大日均排放速率为2.03×10-2 kg/h
	石墨加工废气	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级排放标准	石墨加工过程中会产生石墨粉尘，粉尘经各类机加工设备自带的布袋除尘器处理后合并一起通过15米高排气筒排放	石墨加工废气排气筒出口断面中颗粒物的最大日均排放浓度为1.3 mg/m3，最大日均排放速率为3.84×10-4kg/h

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

降噪设施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类、4类

企业选用先进的、低噪声、高效设备；对车间生产设备进行合理布局，把生产设备集中布置在生产车间的中间；对产生噪声大的设备底座安装减振装置或减振垫；平时加强设备的维护保养，对主要生产设备的传动装置做好润滑，使设备处在最佳工作状态

企业厂界东侧昼间的噪声最大值为63LeqdB(A)，夜间的噪声最大值为53 LeqdB(A)，南、西、北三侧的昼间的噪声最大值为62LeqdB(A)，夜间的噪声最大值为52LeqdB(A)

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

按规范设置固体废物贮存场所，妥善处置固体废弃物，危险废物委托有资质单位处置，生活垃圾按要求处置

项目产生的金属角料和屑及次品、废包装材料、喷砂粉尘收尘经分****公司回收利用；原料包装桶、废乳化液、脱模废油、槽底沉渣经分类收集后贮存在危废间委托****收集和转运。生活垃圾经分类收集后由环卫部门统一处置

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程