等离子化学气相沉积
****2024年8月政府采购意向-等离子化学气相沉积 详细情况
等离子化学气相沉积 | |
项目所在采购意向: | ****2024年8月政府采购意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 等离子化学气相沉积 |
预算金额: | 380.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****0205集成电路参数测量仪 |
采购需求概况 : | 主要适用于8英寸及向下兼容的等离子体化学气相沉积薄膜加工工艺,被广泛应用于制造光电子芯片、CMOS芯片、微纳结构、光学器件等,是研究微纳光子学和片上光电集成器件制备的必须设备 |
预计采购时间: | 2024-08 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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