电子束曝光系统
****2024 7(至)7月 政府采购意向-电子束曝光系统 详细情况
电子束曝光系统 | |
项目所在采购意向: | ****2024 7(至)7月 政府采购意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 电子束曝光系统 |
预算金额: | 1180.000000万元(人民币) |
采购品目: | |
采购需求概况 : | 拟采购的电子束曝光系统主要用于在电子束光刻胶上光刻出纳米尺寸的器件图形,然后通过后道刻蚀或薄膜沉积工艺将光刻胶上的纳米图形转移到样片上,实现纳米器件的加工。 |
预计采购时间: | 2024-07 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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